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Technische Informationen - Dichtungsmaterialien

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Dichtungsmaterialien
In der Vakuumtechnik kommen verschiedene Dichtungsmaterialien zum Einsatz. Die Wahl des richtigen Materials hängt von den gewünschten Eigenschaften ab, insbesondere hinsichtlich:

 Enddruck
 Temperatur
 Chemischer Beständigkeit
 Strahlungsbeständigkeit

Bei KF- und ISO-Bauteilen sind O-Ringe aus NBR und FPM üblich. Für CF-Bauteile hingegen verwendet man standardmäßig Flachdichtungen aus Kupfer. Bei Spezialanwendungen kommen auch andere Materialien zum Einsatz.


Elastomerdichtungen

Material NBR
(Acrylnitril-Butadien-Kautschuk)		 FPM
(Fluor-Kautschuk)		 PFPM
(Per-Fluor-Kautschuk)		 PTFE
(Poly-Tetra-Fluor-Äthylen)
Flanschsystem KF, ISO KF,ISO, CF KF, ISO KF
Ausführung O-Ring O-Ring bzw.
Flachdichtung		 O-Ring Kantendichtung
Einsatzgebiet nicht korrosiv mäßig korrosiv stark korrosiv stark korrosiv
Bemerkung Standard-Material
für KF und ISO		 Standard-Material
für KF und ISO		 Einsatz überwiegend
in der Halbleitertechnik		 große Andruckkräfte,
Spannketten oder
Spezial-Spannringe


Metalldichtungen

Material Aluminium Kupfer (OFHC)
Flanschsystem KF, ISO CF
Ausführung Kantendichtung Flachdichtung
Einsatzgebiet bis Enddruck 1.0E-7 mbar bis Enddruck, strahlungsbeständig
Bemerkung große Andruckkräfte, bei KF mit Spannketten
oder Spezial-Spannringen verwendbar		 Standard-Material für CF, für
Spezialanwendungen in silberbeschichteter
oder geglühter Ausführung

Allgemeine technische Informationen als pdf-Download



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