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Einleitung
Ein wichtiger Bestandteil der Vakuumtechnik sind Vakuumbauteile. Dies sind alle Komponenten von Vakuumanlagen, die zum Aufbau von Vakuumleitungen notwendig sind, z. B. Flansche, Dichtungen und Rohrbauteile (Winkelstücke, T-Stücke, Kreuzstücke usw.). Der Einsatz in der Vakuumtechnik stellt dabei hohe Anforderungen sowohl an die Materialauswahl als auch an die Fertigung dieser Komponenten.
Für verschiedene Einsatzbereiche gibt es unterschiedliche Verbindungsstandards, die auf unterschiedlichen
Flanschsystemen beruhen. Deshalb sind VACOM-Vakuumbauteile in allen wichtigen Standards verfügbar. Unser
Lieferprogramm enthält eine große Auswahl Standard-Vakuumbauteile. Darüber hinaus sind wir darauf spezialisiert,
Vakuumkomponenten entsprechend Ihren Anforderungen zu fertigen. Nähere Informationen finden Sie in Kapitel 2 Vakuum-Sonderkomponenten und -kammern.
Flanschsysteme (KF, ISO, CF)
In der Vakuumtechnik werden im Wesentlichen drei Flanschsysteme bzw. Standards eingesetzt. Welches
Flanschsystem am besten geeignet ist, hängt von der jeweiligen Anwendung ab. VACOM-Flansche entsprechen den folgenden Standards:
| Flanschsystem |
Kleinflansch |
Klammerflansch |
ConFlat®-kompatibel |
| Kurzbezeichnung |
KF (ISO-KF) |
ISO (ISO-K, ISO-F) |
CF |
| Nennweite |
DN10 bis DN50 |
DN63 bis DN630 |
DN10 bis DN250 |
| Norm |
DIN28403
ISO2861 |
DIN 28404
ISO1609 |
ISO3669 |
| Vakuumbereich |
bis HV |
bis HV |
bis UHV |
| Standard-Dichtung |
Elastomer-O-Ring |
Elastomer-O-Ring |
Cu-Flachdichtung |
| Leckrate |
< 1.0E-9 mbar l / s |
< 1.0E-9 mbar l / s |
< 1.0E-11 mbar l / s |
Werkstoffe
VACOM-Vakuumbauteile werden aus Werkstoffen gefertigt, die den hohen Anforderungen in der Vakuumtechnik entsprechen. Für Flansche und Rohre werden ausschließlich rostfreie Edelstähle verwendet. KF-Bauteile sind auch aus Aluminium erhältlich.
Für anspruchsvolle Anwendungen insbesondere im Ultrahochvakuum (UHV) fertigt VACOM Flansche aus geschmiedetem Edelstahl 1.4429-ESU (316LN ESR). Dieses im Elektroschlacke-Umschmelzverfahren (ESU bzw. ESR) gefertigte Material zeichnet sich durch besondere Reinheit und Homogenität, große Härte und sehr niedrige
magnetische Permeabilität aus. Der von VACOM verwendete Edelstahl 1.4429-ESU stammt aus eigens für VACOM hergestelltem Material. Es unterliegt von der Schmelze bis zum Endprodukt der Kontrolle durch VACOM. Die Vorgaben bezüglich Zusammensetzung und Reinheit sind von VACOM deutlich enger gefasst, als durch die Norm bestimmt.
Verwendete Edelstähle
| Werkstoff-Nr. |
AISI |
ESU |
| 1.4301 |
304 |
- |
| 1.4305 |
303 |
- |
| 1.4307 |
304L |
- |
| 1.4404 / 1.4435 |
316L |
- |
| 1.4429 |
316LN |
Ja |
| 1.4541 |
321 |
- |
| 1.4571 |
316Ti |
- |
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