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Vakuumfallen, Ölnebelabscheider & -Filter
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Vakuumfallen schützen ölgedichtete und trockenlaufende Vakuumpumpen bei Prozessen mit aggressiven Substanzen (z.B. TEOS, Nitriden, LTO, HTO) sowie bei Plasmaprozessen. Sie e.ntfernen korrosive und feste Partikel, die Ihre Pumpe beschädigen können, und vermeiden Ölrückströmung. Desweiteren reduzieren sie die Stillstandzeit und Wartungskosten Ihrer Vakuumanlage und Schützen Ihre Vakuumleitung vor Verschmutzung.
Weitere Informationen finden Sie in der Kapitel-Einleitung.
Bildergalerie (Bitte klicken Sie zum Vergrößern auf das jeweilige Bild)
Adsorptionsfallen
- KF-Adsorptionsfallen inklusive Heizung
- Visi-Trap (einfache Adsorptionsfalle im Kunststoffgehäuse)
- LN2-Kühlfallen
Einstufige Vakuumfallen
- 4"-Modell mit einem Filterelement und KF-Flanschen DN25KF
- 8"-Modell mit vier Filterelementen und KF-Flanschen DN40KF / DN50KF
- Einfacher Austausch der Filterelemente durch Schnellverschluss
Mehrstufige Vakuumfallen
- Fünf Standardmodelle mit verschiedenen Größen erhältlich
- Große Auswahl an Reserve-Filterelementen
- Auf Wunsch auch kundenspezifische Filtereinsätze lieferbar
Ölnebelabscheider
- HCOME 4 mit einem Filterelement für Pumpen mit Anschluss bis
DN40KF
- HCOME 8 mit drei Filterelenten für Pumpen mit Anschluss bis DN50KF
- MAXI-HCOME mit fünf Filterelementen für Pumpen mit Anschluss bis
DN50KF
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