
Qualifizierte Ausgasmessungen -
RGA-Messungen bis 2 x 10-14 mbar Partialdruck und
Charakterisierung des Ausgasverhaltens von Vakuumbauteilen -
Restgasanalyse auch mit kontrollierter Probenerwärmung
Ermittlung von Druckanstiegsursachen in Vakuumanlagen
Restgasanalyse und Lecksuche, auch Vor-Ort-Service beim Kunden