Schieberventile von VACOM sind geeignet für Hoch- und Ultrahochvakuum-Anwendungen. Sie haben eine sehr
geringe Einbaulänge und besitzen den größtmöglichen Leitwert. Sie dienen deshalb vornehmlich zum Absperren von
Schleusen- oder Pumpsystemen.
Unsere Standard-Schieberventile besitzen
einen runden Durchgang und einen Antrieb mit Schiebedurchführung. Je nach Anwendungsbereich gibt es Ventile in
Hochvakuum- oder Ultrahochvakuum-Ausführung.
Bei den Hochvakuum-Ausführungen kommen FPM-Dichtungen an
Gehäuse und Ventilsitz zum Einsatz. Bei den UHV-Ausführungen ist das Gehäuse metallgedichtet. Der Antrieb
erfolgt manuell oder pneumatisch. Die Schiebe-Durchführungen sind membranbalggedichtet.
Neben den Standardschieberventilen bietet Ihnen VACOM auch Rechteckschieberventile des japanischen
Herstellers SMC an. Diese wurden speziell entwickelt für den anspruchsvollen Einsatz in der Halbleiterindustrie und
in Forschung und Entwicklung. Es gibt sie in mehreren Ausführungen als Tür oder mit Kassettengehäuse.
Sonder-Schieberventile, wie Drei-Positions-Schieber oder Regelschieber sind auf Anfrage erhältlich.
