Messgeräte
Welches Messprinzip bietet den erforderlichen Messbereich? Reicht ein einzelnes Messprinzip oder müssen mehrere kombiniert werden? Kommen Kombinations-Vakuummeter in Frage?

Messgenauigkeit, Reproduzierbarkeit und Reaktionsgeschwindigkeit
Welche Messgenauigkeit erfordert der Vakuumprozess? Welches Messprinzip ist ausreichend genau? Welche Reproduzierbarkeit und Reaktionsgeschwindigkeit des Sensors sind erforderlich?

Zusammensetzung der zu messenden Prozessmedien
Sind Korrekturfaktoren für gasartabhängige Messungen notwendig und bekannt? Ist die Zusammensetzung variabel?

Prozessbedingungen und Umgebungsbedingungen
Welchen Prozessmedien oder Prozesseinflüssen ist der Sensor ausgesetzt? (Medien: korrosiv, gesundheitsschädlich, reduzierend, oxidierend, usw.; Prozesseinflüsse: kontaminierende bzw. beschichtende Partikel, tiefe / hohe Temperaturen, Hochspannungen, Magnetfelder, Glimmentladungen und andere Plasmen, schneller Druckanstieg oder Druckstöße, usw.)
Ist ein Schutz des Sensoreingangs zur Vakuumanlage hin durch Schutzblenden (Baffles), Eckventile, Rohrbögen usw. notwendig? Welche Anforderungen stellt die Umgebung an den Sensor? (Schutz gegen Fremdkörper und Wasser, mechanische Robustheit, klimatische und geografische Einsatzbedingungen, ionisierende Strahlung, usw.)
Besteht die Gefahr einer zündfähigen Gasmischung? Sind explosionsgeschützte Messgeräte erforderlich?

Ausheizbarkeit
Welche Temperaturfestigkeit benötigen Sensor und Messkabel? Sollen temperaturempfindliche Sensorteile demontierbar sein?

Messwertanzeige
Ist eine Messwertanzeige erforderlich? Wenn ja, ist ein aktiver Sensor mit integrierter Anzeige zweckmäßiger oder ein separates Anzeigegerät für ein oder mehrere Sensoren?

Prozess-Steuerung, Messwertprotokollierung
Welche Schaltpunkte, analogen Ausgangssignale, PC- oder Feldbus-Schnittstellen müssen verfügbar sein?

Signalübertragung
Welche Art Messsignal soll über welche Messkabellänge und mit welcher Qualität übertragen werden?