Thermoelement-Durchführungen dienen der Temperaturmessung in Vakuumprozessen. Dabei erfolgt die Temperaturmessung nicht direkt, sondern wird aus der Thermospannung errechnet. Die Thermospannung entsteht infolge der Ladungstrennung (EMK), die durch eine Temperaturdifferenz zwischen den beiden Enden eines elektrischen Leiters verursacht wird.

Die vom Leitermaterial abhängige Thermospannung verhält sich annähern proportional zum Temperaturgefälle. Thermoelemente bestehen aus zwei unterschiedlichen, an einem Ende miteinander verbundenen Metallen. Mittels Thermolement-Durchführungen wird die Thermospannung (EMK) aus der Kammer zu einem externen Messgerät geleitet, das die Temperaturbestimmung ermöglicht.

Bei der Auswahl der Materialkombination sind eine möglichst hohe Thermospannung, Linearität und Korrosionsbeständigkeit entscheidend. In Thermoelementen werden - abgestimmt auf verschiedene Einsatzgebiete - unedle und edle Metalle sowie Legierungen kombiniert.

Typische Legierungen sind Alumely^® (Nickel, Aluminium und Mangan), Chromel^® (Nickel und Chrom) sowie Konstantan (Kupfer und Nickel). Die von VACOM angebotenen Thermoelement-Durchführungen sind (abhängig von der Flanschverbindung) im Temperaturbereich von -269°C bis 450°C einsetzbar.