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Konstruktionsvorteile
Echte Drehbewegung im UHV - ohne Öl, Dichtringe, Bälge oder differenzielles Pumpen.
Der Radial Telescopic Transfer Arm wird durch zwei MagiDrive Drehdurchführungen, MD100 und MD35, angetrieben. Diese gewährleisten eine UHV Leistung, ohne Bälge, Öl, Dichtringe oder differenzielles Pumpen. Die große Drehdurch-führung MD100 mit einem Losbrechmoment von ~ 40 Nm bietet damit eine extrem starre Verbindung, welche ideal zum Rotieren der "Arm"- Baugruppe ist. Die kleinere Drehdurch-führung MD35 bewegt den Ein- und Ausfahrmechanismus des "Arms".
Probenübergabe
Für eine schwerkraftbasierte Übergabe der Proben ermöglicht das Design den "Arm" zu rotieren, das Teleskopsystem herauszufahren und die gesamte Einheit zu heben oder zu senken. Diese Methode wird typischerweise bei den Manipulatoren zur Probenpositionierung und -heizung in MBE-, Sputter- und CVD-Prozessen angewendet. Sollte die lineare Bewegung am teleskopischen Verteilermanipulator nicht benötigt werden und stattdessen die Probenbühne angehoben werden, reduzieren sich die Kosten entsprechend.
Teleskopisch
In konventionellen RDC-Designs wird eine Kammer mit großem Durchmesser als Gehäuse für die "Arm"-Baugruppe benötigt. Der große Durchmesser ist der hinderliche Hauptfaktor. Der innere Durchmesser der Kammer ist üblicherweise definiert als der benötigte lineare "Arm"-Hub, zuzüglich der Distanz zwischen den Aufhängungen des Hilfesystems.
Durch das fortschrittliche Design von UHV Design ist es möglich die Kammer des Kunden viel kleiner zu gestalten. Dies spart Kosten für Kammer, Pumpen und Gestell, zusätzlich zum Abstand zwischen den Halterungen des Trägersystems. Der einzigartige, patentierte Radial Telescopic Transfer Arm von UHV Design ist sehr platzsparend. Der "Arm" bietet einen Bewegungshub der Probe von ~ 760 mm. Vollständig eingezogen passt dieser in eine Kammer mit einem Innendurchmesser von 630 mm.
Die Probengröße kann dabei einen Durchmesser von bis zu 138 mm haben. In so einer Kammer mit einer Entfernung des Anlegeplatzes zum Zentrum von 359 mm beträgt die Reichweite vom Flansch 688 mm Durch dieses Design kann die Kammer des Kunden wesentlich kleiner sein im Vergleich zum Wettbewerb. Dies spart Kosten für die Beschaffung von Kammer, Pumpen und Gestell. Durch den Aufbau reduziert sich der Platzbedarf des gesamten Systems wesentlich.
"Talk Free"
Ein häufiges Problem beim Aufbau von radialen Verteilerkammersystemen ist, dass die "Arm"-Drehbewegung eine Bewegung der "Arm"-Verlängerung verursacht (häufig als "cross talk" der Achsen bezeichnet). Ein Rotieren des "Arms" bewirkt ein Ein- und Ausfahren der Probe, welches zum Verlust der Position führt. Um dies zu verhindern ist eine komplexe Softwareprogrammierung notwendig um den zweiten Antrieb während der Drehbewegung des "Arms" zu entkoppeln. Durch den einzigartigen mechanischen Aufbau wurde dieses Problem behoben. Kurz zusammengefasst, die Drehbewegung der MD100 wird mit dem Motor der kleineren MD35 verbunden, wodurch mechanisch, ohne eine komplexe Softwarelösung, die unerwünschte Bewegung entkoppelt wird.
VACOM bietet Ihnen auch das Komplettsystem bestehend aus Manipulator und Vakuumkammer.
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