Thermische Massendurchflussmesser (MFM) und Massendurchflussregler (MFC) sind Geräte zum Messen, Einstellen und Regeln von Prozessgasen in Vakuumsystemen. Massendurchflussmesser sowie Massendurchflussregler werden für einen bestimmten Fluss und ein bestimmtes Gas kalibriert.
