Dienstleistungen Vakuumspezifische Messungen

Um festzustellen, wie hoch die Leckrate ihrer Vakuumanlage ist, welches Ausgasverhalten ihr Vakuumbauteil hat oder wie hoch die Partikelbelastung ihrer Vakuumkomponenten ist, bietet VACOM verschiedene vakuumspezifische Messungen an.

Dichtheitsprüfungen für Vakuum

Dichtheitsprüfung für VakuumWir bieten Ihnen einen Helium-Lecktest an allen gängigen Bauformen und Baugruppen an. Es werden Leckraten bis 1 • 10-9 mbar l/s, 1 • 10-10 mbar l/s und 5 • 10-11 mbar l/s ermittelt und dokumentiert. Je niedriger die Leckrate ist, desto höher der Aufwand. Ein Lecktestprotokoll gehört zum Dienstleistungsauftrag dazu.

Die Überprüfung der Vakuumdichtheit von reinraumtauglich gereinigten Bauteilen wird im Reinraum durchgeführt. Dafür steht je nach Spezifikation der Bauteile ein Prüfplatz für die Reinraumklassen ISO 7 und ISO 5 zur Verfügung. Im Anschluss an die Dichtheitsprüfung führen wir standardmäßig eine Schwarzlichtkontrolle zur Verifizierung der Partikelarmut der Bauteiloberfläche durch und endverpacken Ihre Bauteile reinraumgerecht.

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