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VACOM Kalender

ÖPG Jahrestagung
Mo, 26.08. - Fr, 30.08.2019 [Zürich (CH)]
MaxLab Users Meeting
Mo, 23.09. - Mi, 25.09.2019 [Lund (SE)]
30. DPG Industriegespräch Jena
Do, 26.09. - [Jena (DE)]
Das Familienunternehmen VACOM Vakuum Komponenten & Messtechnik GmbH gehört seit über 25 Jahren mit derzeit etwa 250 Mitarbeitern zu den führenden europäischen Anbietern für Vakuumtechnik. Wir haben hohe Ansprüche an uns und unsere Arbeit, insbesondere an die Qualität unserer Prozesse.

VACOM-Strategie ist die kontinuierliche Entwicklung des Produktportfolios im oberen Qualitätslevel zu bezahlbaren Preisen. Unsere Expertise konzentriert sich auf VakuummechanikElektrische Durchführungen, VakuummesstechnikVakuumoptik, Ionengetterpumpen sowie Technologien um Komponenten dieser Bereiche ausgasarm und partikelarm herzustellen, zu reinigen und diese Spezifikationen nachzuweisen.

Wir laden Sie ein, unsere Produkte und Dienstleistungen kennen zu lernen und uns vor neue Herausforderungen zu stellen.

  VACOM Kontakt


VACOM Vakuum Komponenten & Messtechnik GmbH
In den Brückenäckern 3
07751 Großlöbichau / Germany
Tel. +49 3641 8734 0 | Fax +49 3641 8734 499 | Diese E-Mail-Adresse ist vor Spambots geschützt! Zur Anzeige muss JavaScript eingeschaltet sein!

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Finden Sie eine umfangreiche Auswahl unseres Produktspektrums.

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Unser Angebot

  • Produkte

    Produkte von VACOMAls Spezialist für Vakuumtechnik für Anwendungen im Hochvakuum bis ins extreme Ultrahochvakuum bietet VACOM ein breites Produktspektrum mit maßgeschneiderten Lösungen für Ihre Bedürfnisse. Dabei liegen unsere Kernkompetenzen in der Vakuummechanik, der Vakuummesstechnik und der Vakuumoptik.

    • Aluminium: Der Werkstoff der Zukunft für Anwendungen im UHV/XHV (AluVaC®)

      Sowohl industrielle Prozesse als auch Forschung und Entwicklung,  wie in der Beschleunigertechnik oder EUV-Technologie, erfordern zunehmend sauberes und besseres Vakuum.
      Ultrahochvakuum (UHV, p <1 · 10-07mbar) und Extremes Ultrahochvakuums (XHV, p <1 · 10-11mbar) zu erzeugen ist mit herkömmlichen Edelstahltechnologien sehr zeit- und energieintensiv und somit mit hohen Kosten verbunden. Vergleicht man die Werkstoffe Edelstahl und Aluminium, die hier am häufigsten zum Einsatz kommen, wird eines klar:

      AluVaC® - Aluminium-CF-Komponenten und -Vakuumkammern

      AluVaC KomponentenAluminium hat durch seine vielversprechenden Eigenschaften berechtigte Ansprüche, im Kammerbau und in der UHV- und XHV-Vakuumtechnik der Werkstoff der Zukunft zu werden. Der stabile Langzeiteinsatz wurde langwierig getestet. Mittlerweile erfreuen sich bereits viele Unternehmen, Institute und Anwender an unseren AluVaC®-Komponenten.  

      Überzeugen Sie sich selbst in unserem Webshop von dem umfangreichen Sortiment!

      Kostenersparnisse resultieren aus vielfältigen Werkstoff-eigenschaften

      VACOM hat die Herstellung von Alu-CF-Komponenten und –Kammern (AluVaC®) in das Portfolio aufgenommen. Gerade für Vakuumanwendungen in den tiefen Druckbereichen des Ultrahochvakuum (UHV) und Extremen Hochvakuum (XHV) bietet Aluminium zahlreiche Vorteile im Vergleich zu Edelstahl.

      Überzeugen Sie sich selbst von den hervorragenden Produkteigenschaften:

      AluVaC Perfomance

      • Geringere natürliche Materialausgasung - qA<2 · 10-14 mbar·l/s/cm2
      • Energieeffizienteres Ausheizen bei Temperaturen von 120°C (vgl. 200 – 450 °C für Edelstähle)
      • Ermöglicht zeiteffizienteres Arbeiten durch schnellere Abpumpzeiten
      • Herstellung von Bauteilen mit geringer magnetischer Permeabilität (µr = 1,00002)  
      • Vorteile im Handling durch minimales Gewicht

      Hochwertige, langlebige und ausheizbare Aluminiumkomponenten mit CF-Schneidkanten

      SchneidkantenVACOM fertigt CF-Anschlüsse ausschließlich aus Aluminiumlegierungen, ohne zusätzliche Beschichtung oder einen Edelstahlanteil. Die mechanische Festigkeit von 6xxx-er Aluminium-Legierungen ist dazu geeignet, stabile CF-Schneidkanten nach ISO-3669 herzustellen.

      Durch den Einsatz von weichgeglühten Kupferdichtungen sind die Schneidkanten der AluVaC®-Serie für den stabilen Langzeiteinsatz konzipiert. Auch die für das Ausheizen notwendigen 120°C haben nachweisbar keinerlei Einfluss auf die Schneidkantenstabilität. Unsere Tests haben ergeben, dass die extrem ausgasarmen AluVaC®-Bauteile mit dauerhaft stabilen Schneidkanten ihre Funktionalität auch unter thermischen Belastungen bis Spitzentemperaturen von 180°C beibehalten (siehe WhitePaper Teil 3).

      Zudem sind alle AluVaC®-Komponenten mit CF-Edelstahlkomponenten kompatibel.
      Überzeugen Sie sich selbst von unseren Forschungsergebnissen:

    • Vakuumkammern und Sonderkomponenten

      Vakuumkammern und SonderkomponentenVakuummechanik ist die stärkste Säule im Leistungsspektrum von VACOM. Als Hersteller von Vakuumkammern und Sonderkomponenten sind wir in der Lage, auf Ihre Anforderungen zugeschnittene Lösungen zu realisieren, unter anderem spezielle Kugelkammern oder Zylinderkammern.

      Anforderungen für vakuumtechnische Applikationen insbesondere im Hochtechnologiebereich gehen weit über die des traditionellen Maschinenbaues hinaus. Eine Schweißnaht muss nicht nur den Anforderungen an die mechanische Stabilität genügen, sondern auch noch gasdicht sein. Verwendete Materialien müssen sich durch Ausgasarmut und niedrige Gaspermeation auszeichnen. Beim Elektropolieren reicht es nicht aus, dass eine blanke Oberfläche entsteht. Im XHV Bereich ist jeder cm² Oberfläche ein cm² zu viel. Hier besteht die Schwierigkeit darin, die Konstruktion von Vakuumkammer und Bauteilen so klein wie möglich zu gestalten, was jedoch aufgrund der Wärmeableitung im Herstellungsprozess zu neuen technologischen Herausforderungen führt. Fordert man einerseits Ausgasarmut und minimale Gaspermeation und andererseits minimale Partikelgeneration und -affinität, so schränken sich die Möglichkeiten nochmals enorm ein.

      Vakuumkammern und SonderkomponentenFür Nischenmärkte wie vakuumtechnische Applikationen ist es erforderlich, eine geeignete Schnittstelle zwischen den auf dem Markt verfügbaren „Massenprodukten" und den hochspeziellen Unikaten zu finden und zu definieren. Hier gilt es, Zusammenhänge zu verstehen, grundlegende physikalische Prozesse zu hinterfragen und die Fähigkeit zur interdisziplinären Arbeit zu entwickeln.

      Vakuumkammern und SonderkomponentenAls ein erfahrener Hersteller von Vakuumkammern und Sonderbauteilen legen wir all diese Zusammenhänge und Erkenntnisse schon der Konstruktion zu Grunde und gelangen somit zu neuen Effizienzen und Qualitäten. Gern stehen wir unseren Kunden und Interessenten bei Fragen zur Konstruktionsoptimierung zur Verfügung. Gegenseitige Vertraulichkeitsvereinbarungen (NDA) sichern den wertschätzenden Umgang mit der geistigen Leistung aller Beteiligten.

      Wir bündeln Wissen und Erfahrung in der Vakuumtechnik und sind damit Ihr Ansprechpartner für:

      Das alles ist nur möglich, wenn diese Prozesse durch eine gut organisierte Qualitätssicherung begleitet werden, die hochqualifiziert ist und über optimale moderne Messtechnik verfügt.

      Wir freuen uns darauf, Ihre speziellen Anforderungen an Ihre Kammer bzw. Ihr Sonderbauteil gemeinsam mit Ihnen zu realisieren.

      • Konstruktion von Komponenten nach Kundenspezifikation

        Konstruktion von VakuumbauteilenBei VACOM werden Ihre Vakuumkammern und Vakuumkomponenten genau nach Ihren Vorgaben konstruiert. Wir bieten für Ihre Bedürfnisse eine maßgeschneiderte Lösung.

      • Schweißtechnik

        Bei uns werden vorwiegend Rohr-Flansch- sowie Rohr-Rohr-Verbindungen mittels verschiedener Schweißverfahren manuell gefügt, sodass qualitativ hochwertige Schweißnähte entstehen.
        Wir verfügen über Erfahrungen im Schweißen von Edelstählen verschiedenster Qualitäten. Hervorzuheben sind hierbei die Werkstoffe 1.4301, 1.4307, 1.4404, 1.4435, 1.4429, 1.4541 und 1.4571.

        Entsprechend den Bauteilanforderungen werden bei VACOM in Abhängigkeit von den Schweißgeometrien und den Bauteildicken verschiedene Schweißverfahren eingesetzt:

        • Schweißverfahren

          Entsprechend den Bauteilanforderungen können wir in Abhängigkeit von den Schweißgeometrien und den Bauteildicken folgende Schweißverfahren einsetzen:

      • Oberflächen- und Bauteilveredelung

        Nach Kundenwunsch unterliegen bei VACOM alle Vakuumkomponenten einer Oberflächen- und Bauteilveredelung.

        OberflächenbehandlungWir bieten Ihnen standardmäßig folgende Bauteiloberflächen an:

        • Mechanisch und chemisch unbehandelte Oberflächen ("naturbelassen")
        • Mechanische Politur
          - Mechanische Bearbeitung der Oberflächen durch Polieren mit Edelstahldrahtbürste
        • Beizen
          - Entfernen von Anlauffarben
        • Glasperlenstrahlen
          - Strahlen der Bauteiloberflächen mit Glasperlen um einen optimalen seidenmatten Glanz der Bauteile zu erreichen
        • Elektropolieren
          - Anodisches Abtragen der Bauteiloberfläche in einem elektro- chemischen Verfahren

        Die  Oberflächenbearbeitung  dient  neben  optischen  Effekten dem  Entgraten,  Reduzieren  des Ausgasverhaltens  oder  der Partikelminimierung. Bei der Oberflächenbearbeitung verfügen wir  über  spezifizierte  Prozesse  mit  definierten  Ergebnissen. Bei Bedarf modifizieren wir unsere Prozesse für Sie, um Ihren Anforderungen gerecht zu werden.

        Wenn Sie andere Oberflächenbehandlungen als hier beschrieben für Ihre Bauteile benötigen, können wir diese in Zusammenarbeit mit unseren Partnern oder Ihnen realisieren.

      • UHV-taugliche Reinigung und Ausheizen
      • Qualitätssicherung bei VACOM

        iso zertifikat 9001 2008 vorschau

        Qualitätssicherung 
        12Wir sind seit 1998 dem Qualitätsmanagementsystem nach DIN EN ISO 9001:2008 verpflichtet, das seit 2011 auch Forschung und Entwicklung und seit 2012 die Tochterfirma VACOM bvba einschließt.

        Weitere Zertifizierungen:
        • Zertifizierung nach DIN EN ISO 3834-2 für Schweißprozesse durch den DVS (Deutscher Verband für Schweißen und verwandte Verfahren e.V.)
        • Umwelt-Management-System nach QuB durch LGA Intercert
        • GOST-R-Zertifikate ausgewählter Warengruppen

        Unsere Zertifikate stehen auch zum Download zur Verfügung.

        Die Qualitätssicherung ist bei uns in den gesamten Fertigungs- und Warenstrom eingebunden. Zu Beginn steht eine Wareneingangskontrolle nach Prüfplan und eine Dokumentation über das ERP-System. Je nach Vorgaben in Abhängigkeit von Vereinbarungen mit Zulieferanten und Unterauftragnehmern sowie mitgelieferten Prüfprotokollen werden Wareneingänge zu 100 % oder stichprobenhaft überprüft.

        In der Fertigung ist die Qualitätssicherung in alle Fertigungsschritte integriert und  wird  entsprechend  der  Funktionalität  des  Bauteils durchgeführt. Nach den einzelnen Fertigungsschritten wird  zunächst eine qualifizierte Werkereigenkontrolle durchgeführt.

        An allen geschweißten Bauteilen und Baugruppen führen wir standardmäßig einen Helium-Lecktest auf < 1 • 10-9 mbar l/s durch. Bei höheren Ansprüchen prüfen wir auf < 1 • 10-10 mbar l/s und 5 • 10-11 mbar l/s. Dabei ist der höhere Aufwand zu berücksichtigen. Die Messergebnisse werden dokumentiert und archiviert. Auf Anforderung können wir für Sie ein Protokoll erstellen.

        Die Qualitätssicherung prüft alle Produkte in der Endkontrolle gemäß Prüfplan.
        Zur Qualitätssicherung stehen u. a. folgende Prüfmittel zur Verfügung:

        • He-Lecktester
        • Förstersonde
        • Geiger-Müller Zähler
        • Messmikroskop        

        Alle relevanten Messmittel unterliegen einem definierten Kalibrierzyklus, die Überwachung erfolgt durch ein externes zertifiziertes Kalibrierlabor.

        Prüfzeugnisse / Zertifikate – Kennzeichnung
        Zu den von uns gelieferten Bauteilen können wir für Sie folgende Zeugnisse / Zertifikate zu erstellen:

        • Abnahmeprüfzeugnisse 3.1 nach DIN EN 10204:2005 auf der Grundlage spezifischer Prüfungen
        • Werkszeugnisse 2.2 nach DIN EN 10204:2005 auf der Grundlage nichtspezifischer Prüfungen
        • Umstempel-Bescheinigungen nach technischen Regeln
        • Protokolle zum Nachweis bestandener He-Lecktests nach Kundenspezifikation
        • Kennzeichnung von Komponenten mittels Lasergravur nach VACOM-Standard oder nach Kundenwunsch

         

      • Ausheizen, Montage und Verpackung im Reinraum
    • Produktneuheiten
    • Standardkomponenten

      Zu den Standardkomponenten von VACOM zählen alle Bauteile von Vakuumanlagen, die zum Aufbau von Vakuumleitungen notwendig sind, z. B. Flansche, Dichtungen, Rohrbauteile (Winkelstücke, T-Stücke, Kreuzstücke usw.), Vakuumkammern, elektrische Durchführungen und optische Faserdurchführungen sowie Bewegungselemente.

      • Flanschsysteme

        Vakuumkomponenten sind alle Bauteile von Vakuumanlagen, die zum Aufbau von Vakuumleitungen notwendig sind, z. B. Flansche, Dichtungen, Rohrbauteile (Winkelstücke, T-Stücke, Kreuzstücke usw.), Kammern, elektrische und optische Durchführungen sowie Bewegungselemente. Der Einsatz in der Vakuumtechnik stellt dabei hohe Anforderungen sowohl an die Werkstoffauswahl als auch an die Fertigung dieser Komponenten.

        Flanschsystem Kleinflansch Klammerflansch ConFlat®-kompatibel Quick-CF
        Kurzbezeichnung  KF (ISO-KF)  ISO (ISO-K, ISO-F)  CF  QCF
        Nennweite [mm]  DN10 bis DN50  DN63 bis DN630  DN10 bis DN400 DN16 bis DN100
        Norm  DIN 28403 /
        ISO 2861
         DIN 28404 / ISO1609 ISO 3669-2 ISO 3669-2


        Für verschiedene Einsatzbereiche gibt es Verbindungsstandards, die auf unterschiedlichen Flanschsystemen beruhen. Deshalb sind VACOM-Vakuumkomponenten in allen wichtigen Standards erhältlich. Viele Komponenten sind für den Einsatz im Reinraum verfügbar. Diese Vakuumkomponenten zeichnen sich durch eine niedrige Partikelkontamination und -generation aus. Im UHV, XHV und UCV werden niedrige Ausgasraten gefordert und nachgewiesen.

        Darüber hinaus sind wir darauf spezialisiert, Vakuumkomponenten nach Ihren Anforderungen zu fertigen.

      • Werkstoffe

        Bei VACOM werden nur vakuumtaugliche Werkstoffe verarbeitet, wie z. B. Edelstähle, Keramiken oder Kristalle.

        Für anspruchsvolle Vakuumanwendungen hat VACOM geschmiedeten korrosionsbeständigen Edelstahl 1.4429-ESU (316LN ESR) vorrätig. Dieser im Elektroschlacke-Umschmelzverfahren (ESU/ESR) gefertigte Werkstoff, zeichnet sich durch besondere Reinheit und Homogenität, große Härte und sehr niedrige magnetische Permeabilität aus. Der Werkstoff wird eigens nach Spezifikation von VACOM gefertigt. Bezüglich der Zusammensetzung und Reinheit hat sich VACOM am technischen Stand orientiert und Toleranzen deutlich enger gefasst, als die Norm es vorgibt. Der VACOM-ESU-Stahl unterliegt von der Schmelze bis zum Endprodukt der Kontrolle durch VACOM.

        Neben rostfreien Edelstählen verarbeitet VACOM eine Reihe weiterer vakuumgeeigneter Werkstoffe:

        • Titan
        • Tantal
        • Keramik
        • Nickelbasislegierungen
        • Gläser
        • Kristalle

        Bei Fragen zur Werkstoffverfügbarkeit, der Vakuumtauglichkeit von Werkstoffen und den Bearbeitungsmöglichkeiten beraten wir Sie gern.

        Eigenschaften bei VACOM lagerhaltiger Edelstähle

        Werkstoff ASTM Rp 0,2
        (0,2 % Dehngrenze)
        [N/mm²]
        Härte
        [HB]
        Max.
        empfohlene
        Einsatztemp.
        [°C]
        Magnetische-
        Permeabilität
        Korrosions-widerstands-
        klasse
         1.4301 304 ≥ 210 ≤ 190 450 ≤ 1,3 II
         1.4305 303 ≥ 190 ≤ 190 450  ≤ 1,3 II
         1.4404  316L ≥ 220 ≤ 215 500 ≤ 1,1 III
         1.4429-ESU 316LN-ESR  ≥ 280 ≤ 250 500  ≤ 1,005 III
         1.4541 304Ti  ≥ 190 ≤ 215 450  ≤ 1,3 II
         1.4571 316Ti  ≥ 200 ≤ 215 550  ≤ 1,3 III
    • Elektrische Durchführungen

      Elektrische DurchführungenElektrische Durchführungen ermöglichen die Transmission von elektrischem Strom in eine oder aus einer Vakuumkammer.
      Sie bestehen aus Metall-Glas-, Metall-Glaskeramik- oder Metall-Keramik-Verbindungen, wobei das Dielektrikum (Glas, Glaskeramik oder Keramik) die stromführenden Kontakte vom metallischen Durchführungsgehäuse elektrisch isoliert.

      Neben der langzeitstabilen hermetischen Dichtheit in Hoch- und Ultrahochvakuum-Anwendungen müssen elektrische Durchführungen häufig sehr hohen oder kryogenen Temperaturen standhalten. Auch Anforderungen nach Korrosionsbeständigkeit gegen bestimmte Prozessmedien oder nach Verwendung nichtmagnetischer Werkstoffe sind keine Seltenheit.

      Bedingt durch die Vielfalt der möglichen Anwendungen steht eine sehr große Anzahl von Durchführungstypen für unterschiedlichste Einsatzbedingungen zur Verfügung.

      • Multipindurchführungen (mit Steckverbindung)

        Mehrfach-Durchführungen [Elektrische Durchführungen]Multipinführungen beinhalten mindestens zwei Kontakte und weisen auf der Luftseite immer einen Anschluss für einen Steckverbinder auf. Eine Reihe von Durchführungen bietet zusätzlich auch auf der Vakuumseite einen Steckeranschluss.  Die zugehörigen vakuumseitigen Steckverbinder bestehen ausschließlich aus vakuumtauglichen Werkstoffen.

        Multipindurchführungen eignen sich hervorragend um platzsparend mehrere elektrische Signale durch eine Kammerwand zu transmittieren.

        Das Wichtigste auf einen Blick:

        • Mindestens zwei Kontakte
        • Luftseitig Anschluss für Steckverbinder
        • Viele Typen mit beidseitigem Anschluss für Steckverbinder
        • Ideal für die Transmission multipler Mess-/Steuer-/Regelsignale
        • Sub-D-Durchführungen

          Sub-D Durchführung123456VACOM ist Spezialist für Sub-D-Vakuumdurchführungen mit dem europaweit größten Angebot an Sub-D-Durchführungen und -Zubehör nach MIL-DTL-24308!

          Die bekannteste und meistgenutzte Variante ist Sub-D Standard in Pin/Pin-Konfiguration. Seit 2016 bietet VACOM mehrere auf unterschiedliche Anwendungsbereiche angepasste Varianten in dieser Bauweise an – basic, pro & extended.

          Darüber hinaus steht seit Kurzem auf vielfachen Kundenwunsch die Variante Sub-D Standard mit Pin/Buchse-Konfiguration zur Verfügung. Eine noch höhere Kontaktdichte bietet die ebenfalls weithin bekannte Serie Sub-D HD („high density“), die ebenfalls in Pin/Buchse-Konfiguration angeboten wird.

          Für hohe Stromstärken kann die Serie Sub-D Power verwendet werden, die wiederum als Pin/Pin-Konfiguration erhältlich ist.

          Das wichtigste auf einen Blick:

      • Koaxialdurchführungen

        Koaxial-Durchführungen [Elektrische Durchführungen]Koaxialdurchführungen bestehen aus zwei konzentrisch angeordneten, durch ein Dielektrikum elektrisch voneinander isolierten Leiterbahnen. Der zentrale Innenleiter dient als stromführender Kontakt, der zylindrische Außenleiter („Schirm“) umgibt diesen und dient als elektromagnetische Abschirmung. In den meisten Anwendungsfällen liegt der Schirm auf Erdpotential („geerdeter Schirm“).

        Für einige koaxiale Durchführungstypen stehen auch Varianten mit nicht-geerdetem („erdfreiem“) Schirm zur Verfügung. Darüber hinaus bieten viele Durchführungstypen eine auf den Standard 50 Ohm angepasste Impedanz für eine möglichst verlustarme Signal- und Datenübertragung. Koaxialdurchführungen weisen auf der Luftseite immer einen Anschluss für einen Steckverbinder auf. Zusätzlich stehen die meisten Typen auch mit beidseitigem Steckeranschluss zur Verfügung.  

        Koaxialdurchführungen sind universell einsetzbar, werden aber insbesondere zur störungsarmen Übertragung von RF-Signalen mit Frequenzen bis zu 40 GHz verwendet.

        Das Wichtigste auf einen Blick:

        • Zwei konzentrische Leiterbahnen (Innenleiter und Schirm)
        • Geerdeter oder erdfreier Schirm
        • Viele Typen mit 50 Ohm angepasster Impedanz
        • Luftseitiger Anschluss für Steckverbinder
        • Viele Typen mit beidseitigem Anschluss für Steckverbinder
        • Ideal für verlustarme Übertragung von RF-Signalen (bis zu 40 GHz)
      • Triaxialdurchführungen

        Triaxial-DurchführungenEin Triaxialkabel – kurz „Triax-Kabel“ – ist eine Sonderform des Koaxialkabels. Es besteht aus drei konzentrischen Leiterbahnen, die durch Dielektrika elektrisch voneinander isoliert sind. Zwischen dem zentralen Innenleiter und dem Außenleiter („Schirm“) befindet sich der sog. „Schutzschirm“ („Guard“) als zusätzliche Abschirmung. Mithilfe des zusätzlichen Schutzschirms können störende Fehlerströme („Leckströme“) effektiv unterdrückt und das Signal-Rausch-Verhältnis verbessert werden.

        Mit Hilfe einer Triaxialdurchführung werden Innenleiter und Schutzschirm elektrisch isoliert durch die Kammerwand hindurchgeführt, während der Außenleiter elektrisch leitend mit der Kammerwand verbunden und somit geerdet ist.
        Triaxialleitungen sind für die Messung sehr schwacher Ströme (nA- und Sub-nA-Bereich) oder Signale geeignet und häufig sogar zwingend notwendig.

        Das Wichtigste auf einen Blick:

        • Drei konzentrische Leiterbahnen (Innenleiter, Schutzschirm („Guard“) und Schirm)
        • Geerdeter Schirm
        • Beidseitiger Anschluss für Triax-Steckverbinder
        • Ideal zur Messung von sehr schwachen/störanfälligen Strömen und Signalen

    • Totaldruckmesstechnik

      AktivsensorenSoll der Druck in Ihrer Vakuumkammer zuverlässig angezeigt oder reproduzierbar eingestellt werden? Mit den Sensoren aus unserem Angebot können Sie den Druck in den Bereichen von Atmosphäre (atm) bis zum Hochvakuum (HV), zuverlässig bestimmen. Verwenden Sie die einfache und sehr robuste Methode eines Piezo-Membranvakuummeters. Oder Sie nutzen die Wärmeleitfähigkeit von Gasen, welche druckabhängig ist. Das Pirani-Wärmeverlustvakuummeter nutzt diese Abhängigkeit zur Druckmessung.

      • Membranvakuummeter

        Die Durchbiegung einer elastischen Membran kapazitiv bestimmen

        Prinzip MembranvakuummeterZur gasartunabhängigen Druckmessung bis ins Hochvakuum eignen sich besonders die Membranvakuumsensoren. Ihre Funktionsweise beruht auf der Messung der elastischen Verformung einer dünnen Membran (Δs), wenn sie auf der einen Seite einem höheren Druck p1 ausgesetzt ist als auf der anderen Seite mit p2 (siehe Abbildung).

        Damit ist das Membranvakuummeter eigentlich ein Gerät zur Messung des Relativdrucks. Aus diesem Grunde wird das Innere des Sensors im Druckbereich von p2 so weit evakuiert, dass p2 sehr viel kleiner ist als der kleinste zu messende Druck im Rezipienten p1. Somit erfolgt eine Totaldruckmessung mit vernachlässigbar kleinem Fehler, gegeben durch den Restdruck p2.

        Bei den kapazitiven Membranvakuummetern bildet die druckempfindliche Membran eine der Elektroden eines Kondensators. Die Durchbiegung Δs, die eine Funktion der Druckdifferenz ist, bewirkt eine Änderung seiner Kapazität, die anschließend direkt gemessen werden kann. Materialien, die zur Fertigung der Membran eingesetzt werden, sind entweder Edelstahl mit kleinen thermischen Ausdehnungskoeffizient oder metallbeschichtete Keramiken. Keramikbasierte Membranen haben sich in der Praxis als weniger empfindlich gegen Temperaturschwankungen erwiesen und sind aufgrund besserer Relaxationsfähigkeit nullpunkt-stabiler. Außerdem bieten sie verbesserte Korrosionsfestigkeit und können auch unter rauen Bedingungen eingesetzt werden. Die Membran sollte möglichst unempfindlich gegen Längenvariation bei Temperaturänderung sein, da dies das Messergebnis verfälscht. Die Dicke der Membran entscheidet über den kleinsten messbaren Druck. Jede Membrandicke kann etwa 4 Druckdekaden messen.

        Eine Verbesserung der Genauigkeit ergibt sich durch temperaturstabilisierte Sensoren, die auf 45 °C konstanter Temperatur geregelt sind und damit Temperatureinflüsse auf das Messergebnis verringern. Vorzüge der kapazitiven Membranvakuummeter sind die Gasartunabhängigkeit, die hohe Messgenauigkeit (typischerweise 0,2 % vom Messwert) sowie die Widerstandsfähigkeit gegen korrosive Gase.

      • Wärmeverlustvakuummeter

        Die druckabhängigen Wärmetransporteigenschaften des Gases für die Druckmessung nutzen

        Pirani WaermeleitungsvakuummeterWärmeleitung ist eine weitere charakteristische Eigenschaft der Gase, die mit der Teilchendichte eng zusammenhängt. Die Energie wird hierbei durch gegenseitige Zusammenstoße der Gasmoleküle übertragen und je nach der mittleren freien Weglänge der Partikel geschieht der Wärmetransport mit unterschiedlicher Effizienz. In einem bestimmten Druckbereich ist die Wärmeleitfähigkeit proportional zum Druck, allerdings muss mit störenden Effekten wie der Wärmeströmung, Wärmestrahlung, Wärmeleitung über die Kontakte, usw. gerechnet werden.

        Die Grundidee eines Pirani-Wärmeverlustvakuumsensors besteht darin, einen Draht (wie in der Abbildung gezeigt) auf eine konstante Temperatur zu heizen, die viel höher ist als die des umgebenden Restgases im Vakuum. Der Draht (Durchmesser typischerweise 5 bis 25 μm, Länge zwischen 50 und 100 mm) gibt Wärme an das Gas ab. Er ist gleichzeitig ein Teil einer elektrischen Schaltung, wie z. B. einer abgeglichenen Wheatstone-Brücke, und seine Temperatur kann somit direkt aus ihrer Proportionalität zum Drahtwiderstand bestimmt werden. Die eigentliche Messgröße, die zur Temperaturstabilisierung notwendige elektrische Leistung, ist aufgrund der Proportionalität der Wärmeleitfähigkeit eines Gases zum Druck auch druckabhängig.

        Mit der Wheatstone-Brücke, die zur Temperaturstabilisierung genutzt wird, misst man gleichzeitig auch die Differenzspannung zwischen einer definierten Referenz und der anliegenden Heizspannung. Die Referenzspannung wird durch einen sogenannten Nullpunktabgleich, der im Handbuch des Sensorherstellers beschrieben wird, eingestellt. Dieser Nullpunktabgleich trägt vor allem der unerwünschten Wärmeleitung durch die Kontaktstellen des Drahtes und der Wärmestrahlung Rechnung. In der Regel entspricht die Referenzspannung der Heizspannung, die angelegt werden muss, wenn der Druck in der Anlage weit unterhalb der unteren Messgrenze liegt.

        Vorteile eines Wärmeleitungs-Vakuummeters sind insbesondere der weite Messbereich von 10-4 mbar bis Atmosphärendruck und die Genauigkeit, die mit ±10 % im bevorzugten Messbereich für viele Anwendungen ausreichend ist.

      • Relativdruckmanometer

        Messprinzip Rohrfedermanometer -
        Die Verformung eines elastischen Rohres bestimmen

        Bourdon-RohrIm oberen Druckbereich (bis zur Atmosphäre) verursachen die auf eine speziell ausgewählte Fläche wirkenden Kräfte ihre deutliche Verformung. Da diese annähernd proportional zum Druck ist (Hooksches Gesetz), kann ihre Messung zu einer direkten Aussage über den aktuellen Druck herangezogen werden.

        Im einfachsten Fall – wie z. B. in einem Bourdon-Rohr – wird die Verformung eines Metallrings direkt auf einen Zeiger übertragen, der mit einer geeichten Skala verbunden ist. In dieser Art von mechanischen Manometern wird der Relativdruck gemessen, da das Maximum (oder 1000 mbar) auf der Skala den Atmosphärendruck bedeutet. Da dieser um einige zehn Millibar schwanken kann, wäre eine Absolutdruckmessung mit einem großen systematischen Fehler behaftet.

        Messprinzip Piezo-Membranvakuummeter -
        Die Durchbiegung einer elastischen Membran piezo-resistiv bestimmen

        Eine bessere Genauigkeit erreichen die piezoresistiven Membranvakuummeter. Sie arbeiten ähnlich den kapazitiven Membranvakuummetern: die Druckmessung ist auf eine Messung der mechanischen Verformung einer Membran mit piezoresistiven Elementen zurückgeführt. Die spezifischen Widerstände der Piezoelemente ändern sich mit der Durchbiegung der Membran und geben somit die Information über den aktuellen Druckunterschied auf beiden Seiten der Membran. Die Genauigkeit der Druckbestimmung beträgt typischerweise ca. 0,5 % vom Endausschlag, d. h. der nutzbare Messbereich beträgt 3 Druckdekaden.

        Marktübliche Piezo-Vakuummeter haben 1300 bis 1500 mbar Endausschlag (leicht über Luftdruck). Die Langzeit- und Temperaturstabilität ist ebenso wie die Auflösung etwas schlechter als bei kapazitiven Membranvakuummetern, dafür sind piezoresistive Vakuummeter aber deutlich kostengünstiger.

    • Vakuumoptik

      VakuumschaugläserFür eine Vielzahl von vakuumtechnischen Anwendungen ist es notwendig, elektromagnetische Wellen z. B. in Form von Licht- oder Laserwellen von außen ins Vakuum hinein oder von innen aus dem Vakuum heraus zu transportieren. Dabei reicht das Spektrum vom einfachen Hineinschauen in das Innere einer Vakuumkammer über das definierte Ein- und Auskoppeln von Lichtwellen für Forschungs- oder Produktionszwecke bis hin zur hochpräzisen, möglichst verlustfreien Übertragung von optischen Signalen. Diese Anwendungsvielfalt fordert auch eine Vielfalt an optischen Systemen mit verschiedensten Eigenschaftsprofilen.

      Optische FaserdurchführungBeobachtung und Beleuchtung des Kammerinneren lassen sich durch den Einsatz einfacher Schaugläser aus Borosilikatglas realisieren. Zur definierten Ein- und Auskopplung von Lichtwellen verwendet man hingegen Schauglasmaterialien mit definierter optischer Qualität, Spezialschaugläser oder optische Faserdurchführungen. Die Auswahl der optischen Komponenten wird dabei durch die Anwendung bestimmt. Hauptaspekte hierbei sind Wellenlänge, Transportweg, Strahlungscharakteristik und vertretbare Intensitätsverluste.

      Ein erfahrenes Team aus Optikspezialisten, Materialwissenschaftlern und Vakuumtechnikern freut sich darauf auch für Ihre Spezialanwendung eine geeignete Lösung zu finden.

      • Vakuumschaugläser

        Vakuumschaugläser von VACOMSchaugläser werden bevorzugt eingesetzt, wenn das Zielobjekt in der Vakuumkammer direkt oder durch einfache Strahlumlenkung der Lichtwelle erreichbar ist. Für das Fenster selbst wählt man optische Materialien mit geringer Absorption im gewünschten Spektralbereich aus, welche bei gegebener Dicke möglichst geringe Verluste beim Durchgang zeigen.

        Zur Minimierung der Reflexion beim Ein- und Austritt aus der Optik hat man zudem die Möglichkeit wellenlängenangepasste Antireflexionsbeschichtungen aufzubringen. Ebenso kann man durch den Einsatz hochabsorbierender Materialien, wie z. B. Bleiglas, den Austritt von in der Kammer erzeugter Röntgenstrahlung verhindern. Durch geeignete Materialauswahl der gesamten Flansch-Optik-Verbindung können unter anderem auch Eigenschaften wie elektrische Leitfähigkeit oder Magnetismus angepasst werden.

      • Optische Faserdurchführungen

        VACOM Standardfasern inkl. Wellenlängen SpektrumOptische Fasern werden im Vakuum bei messtechnischen Aufgabenstellungen eingesetzt, wenn der Einsatz oder Entstehungsort des Lichts nur schwer erreichbar ist. Sie ermöglichen eine große Flexibilität hinsichtlich der Führung des Lichtstrahls.
        Im Vergleich zu optischen Fenstern ist der Weg durch das optische Material deutlich länger, weswegen bei Fasern Dispersionseffekte zu berücksichtigen sind. Je nach Anwendung und Art der Faser lassen sich diese Effekte jedoch mindern beziehungsweise komplett unterdrücken. VACOM verwendet für optische Faserdurchführungen Standardfasern, damit ein großes Maß an Anwenderfreundlichkeit und Kompatibilität gegeben ist.

        Eigenschaften optischer Faserdurchführungen

        Optische Faserdurchführungen für Vakuumanwendungen vereinen die Eigenschaften zweier unterschiedlicher ingenieurtechnischer Disziplinen. Zum einen müssen die vakuumbetreffenden Eigenschaften denen des typischen Vakuumstandards genügen, wozu die Materialauswahl, die Einsatztemperatur, das Ausgasverhalten und die He-Leckrate zählen.
        Zum anderen sind die optischen Anforderungen zu erfüllen. Diese liegen hauptsächlich in einer sehr guten Einfügedämpfung und einer hohen Rückflussdämpfung. Zudem muss selbstverständlich die Adaptierbarkeit an ein gängiges Steckersystem, wie zum Beispiel FC/APC & FC/PC oder FSMA, gewährleistet sein.

        Anwendungsbereiche optischer Faserdurchführungen

        Die Anwendungsbereiche von Faserdurchführungen decken ein breites Spektrum ab. Verwendung finden sie beispielsweise bei der interferometrischen Positionsmesstechnik, wobei hier Singlemode-Fasern eingesetzt werden, und bei der konfokal chromatischen Messtechnik mit kleinkernigen Multimode-Fasern. Darüber hinaus sind auch Einsatzmöglichkeiten bei spektroskopischen Problemen realisierbar. Prominente Vertreter sind die Plasma- und Weißlichtspektroskopie mit großkernigen Multimode-Fasern.

        Das Angebot von VACOM erstreckt sich von optischen Faserdurchführungen mit verschiedenen Standard Singlemode- und Multimode-Fasern, über Atmosphärenkabel bis hin zur kundenspezifischen Konfektionierung von Vakuumkabeln.

        Auf Wunsch bieten wir auch fokussierte Lösungen mit Nicht-Standardfasern an. Dabei kann VACOM auf ein großes Team aus Optikspezialisten, Materialwissenschaftlern und Vakuumtechnikern zurückgreifen. Unsere Kundenbetreuer helfen Ihnen an dieser Stelle gerne weiter.

        Bereits erarbeitete nichtstandardisierte Lösungen:

        • Kollimationsoptiken für Vakuumanwendungen
        • Durchführung eines Faserbündels
        • Konfektionierung von metallbeschichteten Vakuumfasern
        • Führung von Fasern in Edelstahlschutzschläuchen
    • Heizlösungen

      Elektrische Beheizungen sind ein unverzichtbares Zubehör für viele Vakuumanlagen. Mit einer der Anwendung angepassten Ausheiztemperatur und -zeit optimieren sie die Einsatzbedingungen der Vakuumanlage. Bei der Erzeugung sehr niedriger Drücke begrenzt die ständige Desorption von Gasen, insbesondere von Wasserdampf, den erreichbaren Enddruck. Durch Ausheizen kann die Desorptionsrate soweit gesenkt werden, dass Drücke < 10-10 mbar erreicht werden können.
      Um den Wasserdampf aus Ihrer Vakuumkammer zu reduzieren, empfiehlt sich eine Mindestausheiztemperatur von ca. 120 °C. Optimal ist es dabei den Druck zu beoachten, denn wenn der Druck in der Kammer während des Ausheizvorganges sinkt bzw. nicht mehr sinkt, war der Ausheizprozess mit der gewählten Temperatur erfolgreich. Weitere Effekte würden sich dann nur mit höheren Temperaturen erzielen lassen, wobei langkettigere Moleküle aufgebrochen werden.
      Für Kohlenwasserstoffe lässt sich hingegen nur sehr schwer eine Ausheiztemperatur empfehlen, da diese von der Länge der Kohlenwasserstoffverbindungen abhängig ist. Prinzipiell gilt: Je langkettiger die Verbindung ist, umso höher muss die Temperatur sein. Üblicherweise nutzt man Ausheiztemperaturen um 200 °C.

      Ein weiterer Vorteil des Ausheizens ist die Verlängerung der Lebensdauer der an der Vakuumkammer angebrachten Messgeräte, indem durch gezieltes Beheizen dafür gesorgt wird, dass diese weniger verschmutzt werden bzw. man versucht Ablagerungen von den Messgeräten durch Energiezufuhr zu lösen. Zudem kann auch eine etwaige Drift der Messwerte vermieden bzw. verringert werden. Durch regelmäßiges Ausheizen Ihrer Anlagen schaffen Sie gleiche Bedingungen in Ihrem Prozess bzw. Versuch. Wichtig ist dabei, dass die Temperaturverteilung homogen ist, da sonst die Teilchen an den kalten Stellen kondensieren, an denen in den meisten Fällen die Messtechnik installiert ist. Dies kann man nur durch eine längere Ausheizzeit kompensieren. Zusammenfassend sind drei Parameter für einen optimalen Ausheizprozess zu beachten:

      1. Ausheiztemperatur
      2. Ausheizdauer
      3. homogene Temperaturverteilung

      Prinzipiell kann der Temperaturausgleich beim Beheizen durch Wärmeleitung, Wärmestrahlung und Konvektion erfolgen.

      Bei  der  Wärmeleitung  kommt  es  zum  Temperaturausgleich  innerhalb  eines  Festkörpers  bzw.  zwischen  Festkörpern, die  sich  direkt  berühren  und  zwischen  denen  ein  Temperaturgefälle  vorliegt.  In  welcher  Zeit  dieser  Temperaturausgleich geschieht,  ist  im  Wesentlichen  abhängig  von  der  Wärmeleitfähigkeit  des  Materials  bzw.  der  Materialien,  deren  Massen  und  dem Temperaturunterschied.

      Die  Konvektion  als  Wärmeübertragung  erfolgt  ebenfalls  nach  dem  Prinzip  der  Wärmeleitung,  wobei  das  Übertragen innerhalb  eines  Gases,  soweit  im  Vakuum  noch  vorhanden,  von  einer  Zone  hoher  Temperatur  zu  einer  Zone  niedriger Temperatur  stattfindet.  Dies  geschieht  durch  Auftrieb.  Da  dieser  Effekt  mit  sinkendem  Druck  immer  geringer  wird,  ist  er  in  der Vakuumtechnik vernachlässigbar und unterhalb von ca. 10 mbar nicht mehr zu beobachten.

      Bei der Wärmestrahlung wird die Wärmeenergie mittels Emission und Absorption von elektromagnetischen Wellen übertragen. Jeder Körper, dessen Temperatur > 0 K ist, emittiert Strahlung. Und jeder Körper, auf den diese Strahlung trifft, absorbiert einen Teil dieser Strahlung und reflektiert bzw. lässt den übrigen Teil hindurch. Dies ist damit der einzige Mechanismus, Aufbauten, welche sich im Vakuum mit geringen Kontaktflächen zu beheizten Rezipientenflächen befinden, ohne Probenheizer zu beheizen.

      Es gibt zur luftseitigen, kontrollierten Beheizung des Vakuumsystems folgende Möglichkeiten:

    • Membranbälge

    • Mechanische Durchführungen

      In Vakuumprozessen ist es vielfach erforderlich, mechanische Bewegungen in das Vakuumsystem zu übertragen. Zur Ausführung der erforderlichen Bewegungen wie z.B. Rotation oder Translation werden verschiedene Systeme, ohne und mit Magneten, eingesetzt::

      • Elastomergedichtete Durchführungen im HV-Bereich bzw. mit Membranbalg gedichtete Systeme für  den Einsatz im UHV. Durchführungen mit Membranbalg bieten die höchste Präzision und Reproduzierbarkeit der Bewegung. Zudem können die Systeme vollständig frei von Magnetfeldern aufgebaut werden, was für verschiedene Einsatzbereiche ein entscheidendes Kriterium ist.
      • Magnetisch gekoppelte Systeme. Die Bewegung wird mittels einer atmosphärenseitigen Vorrichtung über eine Magnetkupplung auf eine Welle im Vakuum übertragen. Dabei ist das Gehäuse aus einem Stück gefertigt und nur zum Vakuum hin offen. Starke Magnete gewährleisten eine starre Kopplung, was die Übertragung großer Drehmomente und hoher Axiallast ermöglicht.
      • Magnetofluid-gedichtete Drehdurchführungen. Dabei kommen Magnetofluide mit einem niedrigen Dampfdruck zum Einsatz. Speziell geformte Polschuhe und starke Magnete halten das Magnetofluid in Form von flüssigen O-Ringen fest. Das Gehäuse bündelt die Magnetfelder im Inneren der Drehdurchführung, so dass außen nur ein vernachlässigbares magnetisches Streufeld übrig bleibt.

      Anspruchsvolle Anwendungen erfordern oftmals die Übertragung komplexer Bewegungsabläufe. Diese Aufgaben übernehmen Manipulatoren, die verschiedene Linear- und Drehbewegungen unabhängig voneinander ermöglichen und auch mit Systemen zur Probenheizung oder -kühlung ausgestattet sein können.

      • Drehdurchführungen mit Magnetofluid-Dichtung

        Drehdurchführung mit Magnetofluid-DichtungVACOM-Drehdurchführungen mit Magnetofluid-Dichtung stammen aus dem Hause RIGAKU, einem führenden Hersteller dieser Produkte. Sie zeichnen sich besonders durch die folgenden Eigenschaften aus:

        • Übertragung großer Drehmomente
        • Spielfreie Drehung
        • Geeignet für Grob-, Fein- und Hochvakuum
        • Überdruckfest
        • Hohe Betriebssicherheit und Dichtheit
        • Sehr geringe magnetische Streufelder
        • Verschleißarme Konstruktion
        • Lange Wartungsintervalle
        • Bis zu 15.000 Umdrehungen / Minute
        • Fertigung kundenspezifischer Lösungen

        Funktionsprinzip

        Im Gegensatz zu konventionellen Drehdurchführungen mit Elastomer- oder Balgdichtung wird bei einer Magnetofluid-Drehdurchführung eine magnetisierbare Flüssigkeit (Magnetofluid) als dynamische Dichtung verwendet, die den Spalt zwischen der sich drehenden Welle und dem statischen Gehäuse ausfüllt. Durch starke Ringmagnete wird das Magnetofluid in die Form von flüssigen O-Ringen gebracht und erzeugt eine reibungsarme Dichtung zwischen Welle und Gehäuse. Der geringe Verschleiß und die nur schwache Reibungswärme gewährleisten lange Wartungsintervalle und eine hohe Betriebssicherheit. Die Durchführungen widerstehen Differenzdrücken von über 2,5 bar. Sie haben eine sehr gute Dichtigkeit mit Helium-Leckraten von bis zu 10-11 mbar l/s und sind absolut vakuumtauglich. Drehzahlen von einigen Umdrehungen pro Minute bis zu mehreren Tausend Umdrehungen werden erreicht. Ihre Langlebigkeit und Zuverlässigkeit haben die Drehdurchführungen von RIGAKU u. a. beim Einsatz in Röntgenröhren und in der Halbleiterprozesstechnik bewiesen. Neben Standardausführungen sind ebenso kundenspezifische Lösungen lieferbar.

        Online bestellenMagnetofluid-gedichtete Drehdurchführungen jetzt online kaufen.   

    • Vakuumtaugliche Schrauben

      „Das ist in der Vakuumtechnik genauso wie im Radsport.“

      Produktgruppenbild Schraubenformen und Beschichtungen vorschauWer schnell sein will verzichtet auf Standardnormteile. Zur Steigerung der Effizienz werden im Radsport Verbindungselemente mit einem möglichst geringen Gewicht verbaut. Bei Aufbauten in Vakuumanlagen verwendet man stattdessen vakuumtaugliche Verbindungselemente, welche für eine geringe Gasabgabe optimiert und entwickelt wurden.

      Bei Schraubenverbindungen innerhalb einer Vakuumumgebung sind die Entstehung „virtueller Lecks“ sowie der Einsatz von Schmiermitteln oder Schutzwachsen zu vermeiden. Eingesetzte Verbindungselemente in Vakuumumgebungen sollten ein hohes Maß an Sauberkeit aufweisen und durch eine Entlüftung vor Gaseinschlüssen schützen.


      Virtuelle Lecks in Schraubenverbindungen

      „Durch virtuelle Lecks verlängert sich die Abpumpzeit der Vakuumkammer dramatisch.“

      Gaseinschlüsse

      Bei Aufbauten innerhalb einer Vakuumkammer sind Schrauben zur Herstellung wieder lösbarer Verbindungen unverzichtbar. Durch Oberflächenrauheit und Formabweichungen zwischen den Gewinden ergeben sich kleinste Spalte. Das unterhalb der Schrauben und im Schraubenkopf eingeschlossene Gas kann bei der Evakuierung nur schlecht entweichen.

      Wegen der geringen Größe der Spalte im Verhältnis zur Größe der Hohlräume (Verhältnis 1:1000 … 1:100000) ergibt sich ein stetiger Gasstrom aus den Hohlräumen. Dieser Gaststrom erscheint dem Vakuumtechniker wie echtes Porenleck. „Diese „virtuelles Leck“ genannte Erscheinung hat zur Folge, dass der angestrebte Arbeitsdruck erst nach sehr langer Zeit oder überhaupt nicht erreicht wird.“

      Vermeidung virtueller Lecks durch vakuumgerechte Gestaltung

      Virtuelle Lecks in Schraubenverbindungen werden durch Öffnungen zwischen den entstehenden Hohlräumen und der Vakuumumgebung vermieden.

      entlueftete schraube skizzeVakuumtaugliche Schrauben sind zur prozesssicheren Evakuierung mit einer zentrischen Entlüftungsbohrung oder einem seitlichen Längsschlitz entlang des Gewindeschafts und unterhalb des Schraubenkopfes versehen. Die zum Einsatz kommenden vakuumtauglichen Unterlegscheiben besitzen Entlüftungskerben auf der Kreisringfläche. Die Größe dieser Entlüftungsöffnungen ist so gewählt, dass sich zwischen der Öffnung und dem Hohlraum ein Verhältnis der Größenordnung 1:10 ergibt. Dadurch strömt das eingeschlossene Gas bereits während der Evakuierungsphase aus den Hohlräumen in die Vakuumkammer und wird mit abgepumpt. Die Performanz der Vakuumanlage bleibt erhalten.


      Sauberkeitsanforderungen an vakuumtaugliche Schrauben

      Wie im Radrennsport gilt auch in der Vakuumtechnik – sauber bleiben!

      Schrauben unter UV LichtDie Anwesenheit bestimmter Stoffe in zu hohen Konzentrationen kann eine Menge Ärger nach sich ziehen. Die erforderliche Sauberkeit von Verbindungselementen wird durch eine geeignete Feinstreinigung erreicht. Im industriellen Maßstab haben sich ultraschallunterstützte Nassreinigungsprozesse mit tensidischem Reiniger und mehreren Spülstufen mit DI-Wasser etabliert. Damit werden die erforderlichen Sauberkeitsklassen prozesssicher und nachweisbar erreicht. In der Vakuumtechnik muss die oberflächenbezogene Ausgasrate der verwendeten Komponenten unterhalb 1*10-9 mbar*l/(s*cm²) liegen. Für UHV-Systeme sind Ausgasraten kleiner 1*10-12 mbar*l/(s*cm²) notwendig. In UCV-Anwendungen sind akkumulierte molekularen Kontaminationen mit Kohlenwasserstoffen von maximal 5*10-9 g/cm² erlaubt.

    • Vakuumventile

      Vakuumventile sind unverzichtbare Absperrelemente für jede Vakuumanlage. Sie finden ihren Einsatz in den Vakuumleitungen oder direkt an der Vakuumkammer.

      VACOM bietet ihnen eine große Auswahl Vakuumventile für viele Anwendungsbereiche im Grob-, Fein-, Hoch- und Ultrahochvakuum. Im Folgenden geben wir Ihnen eine Übersicht über die von uns lieferbaren Vakuumventile und ihre Einsatzgebiete.

    • Ionengetterpumpen und Titansublimationspumpen

      IonengetterpumpenVakuumerzeugung mit Ionengetterpumpen

      Vor dem Siegeszug der Turbomolekularpumpe wurden Ionengetterpumpen (IGPs) in nahezu jeder Vakuum-Anwendung, die Drücke im Hochvakuum-Bereich <10-6 mbar erforderte, eingesetzt. Heute finden IGPs mit größerem Saugvermögen ihren überwiegenden Einsatz im Bereich mit Drücken <10-9 mbar. Hier stellen IGPs nach wie vor das sauberste und preiswerteste Verfahren dar, um ein Ultrahochvakuum zu erhalten. IGPs fangen Gasmoleküle ein und halten sie fest, indem sie diese in feste Bestandteile umwandeln und in der Pumpe binden. Dadurch bewahren IGPs auch dann das Vakuum, wenn sie nicht in Betrieb sind. Sie besitzen keine beweglichen Teile und sind deshalb ideal für abgeschlossene Systeme, die eine dauerhaft zuverlässige Funktion erfordern. Außerdem arbeiten IGPs absolut schwingungs- und erschütterungsfrei bei einem sehr geringen Energiebedarf. Der Wartungsaufwand ist über die gesamte Lebensdauer minimal.

      Typische Anwendungen

      Die Liste der Anwendungen für IGPs ist äußerst vielfältig. Sie bilden einen festen Bestandteil von wissenschaftlichen Instrumenten, etwa in der Beschleunigerphysik, der Massenspektrometrie und der Oberflächenanalytik. Weiterhin finden IGPs ihren Einsatz bei der Herstellung von Vakuumröhren, in der Entwicklung und Produktion von Halbleiterelementen, der Weltraum-Simulation und in vielen weiteren Bereichen. Hier sei insbesondere noch auf die Anwendung in der Elektronenmikroskopie und Elektronenstrahllithographie hingewiesen. Obwohl dort verhältnismäßig hohe Drücke üblich sind, sind IGPs aufgrund ihrer absoluten Schwingungsfreiheit für diese Anwendungen unverzichtbar.

      • Charakteristika von Ionengetterpumpen

        Ionengetterpumpen zeichnen sich durch verschiedene Eigenschaften aus. Ausführliche Informationen dazu erhalten Sie auf den unten aufgeführten Charakteristika.

    • Vakuumfallen und Filter

      VakuumfallenUm Pumpen oder Ihr gesamtes Vakuumsystem vor Schäden durch Wasser, Lösungsmittel- und Öldämpfe, Partikel, reaktive Stoffe oder Kondensate zu schützen, bieten wir Ihnen eine große Auswahl an Vakuumfallen und Ölnebelabscheidern. Je nach Anwendungsfall kommen verschiedene Lösungen in Betracht.

      Bei der Auswahl einer Vakuumfalle müssen drei Kriterien beachtet werden: das Medium, das mit der Falle gefiltert werden soll, die benötigten Anschlüsse, für die Verbindung mit dem Vakuumsystem und die benötigte Bauform der Falle.

      Das Medium
      Nach dem zu filterndem Medium ist zu entscheiden, welcher Fallentyp und welche Filtermedien in Frage kommen. Es gibt die Möglichkeit Rückströmungen von mechanischen Vorpumpen in den Rezipienten zu verhindern, die Abgase mechanischer Vorpumpen zu reduzieren oder die eingesetzten Pumpen vor Partikeln aus dem Vakuumsystem zu schützen. Außerdem ist es möglich, für den in dem Rezipienten ablaufenden Prozess, Gase zu filtern, sowie Wasser und prozessbedingte Kondensate zu verhindern. Eine LN2-Kühlfalle lässt sich außerdem bedingt als Kryopumpe verwenden.

      Die Anschlüsse
      Die Anschlüsse der Falle richten sich ebenfalls nach der Beschaffenheit des Vakuumsystems, in das sie integriert werden soll. Es ist vor allem darauf zu achten, ein für den vorherrschenden Druck geeignetes Verbindungssystem zu wählen.

      Die Bauform
      Die Bauform der Falle wird wesentlich durch das System bestimmt, in das die Falle integriert werden soll. Die Anschlüsse können axial oder um 90° zu einander versetzt seien. Das Volumen der Falle ist entsprechend der in dem System vorherrschenden Gasmenge zu wählen. Je größer die Gasmenge ist, die gefiltert werden soll, umso größer ist das Volumen der Falle zu wählen. Außerdem erhöht ein größeres Volumen die Wartungsintervalle der Vakuumfallen.

  • Dienstleistungen
    Fein- und Feinstreinigung mit definiertem Ergebnis

    Fein- und Feinstreinigung mit definiertem Ergebnis

    Prozesskettenanalyse

    Prozesskettenanalyse des Reinigungsprozesses

    Ausgasanalyse

    Ausgasanalyse

    Zur Herstellung anspruchsvoller Vakuumkomponenten für den Hochtechnologiebereich haben wir Technologien entwickelt, Investitionen in hochpräzise Messtechnik getätigt und hausintern eine Infrastruktur geschaffen, die auch Schwermetallfreiheit von Prozessen sicherstellt.

    Optimierte Prozesse, hochmoderne Logistik, qualifizierte Mitarbeiter und ein professionelles Qualitätssicherungssystem erlauben uns, Dienstleistungen und Messplätze unabhängig von unserem Produktionsprozess dem Markt als Service zur Verfügung zu stellen. Damit ermöglichen wir es dem Einzelnutzer, von unserem Know-how und unserer Ausrüstung zu einem optimalen Preis-Leistungs-Verhältnis zu profitieren.

    Unsere Prozesse entwickeln sich ständig weiter. Wir laden Sie ein, auch davon zu profitieren. Wir freuen uns ebenfalls, wenn Sie uns Ihre ungelösten Fragestellungen präsentieren. Auch bei den Dienstleistungen stehen Ihnen die Mitarbeiter unseres F&E-Teams mit Rat und Tat zur Seite.

    Wir laden Sie ein zu Besichtigungen unseres Technologie- und Fertigungszentrums und Gesprächen bei uns vor Ort. Nach dem Kennenlernen können wir auch per Videokonferenz effizient weltweit mit Ihnen kommunizieren.

    • Montage und Verpackung im Reinraum

      Zu unserem Dienstleistungsspektrum gehört die Montage von Vakuumbauteilen unter Reinraumbedingungen. Zudem werden bei VACOM alle Produkte nach dem Reinigungsprozess so verpackt, dass die erreichte Sauberkeit und Öl- und Fettfreiheit erhalten bleiben.

    • Vakuumspezifische Messungen

      Um festzustellen, wie hoch die Leckrate ihrer Vakuumanlage ist, welches Ausgasverhalten ihr Vakuumbauteil hat oder wie hoch die Partikelbelastung ihrer Vakuumkomponenten ist, bietet VACOM verschiedene vakuumspezifische Messungen an.

    • Materialprüfungen

      Bei VACOM werden verschiedene Materialprüfungen an den Vakuumkomponenten durchgeführt um optimale Qualitätseigenschaften zu erbringen. Dank unseres Know-hows und unserer modernen Ausrüstung sind wir in der Lage diese Serviceleistung zu einem optimalen Preis-Leistungs-Verhältnis anzubieten.

    • Geometrische Vermessungen

    • Optische Messungen

    • Fein- und Feinstreinigung mit definiertem Ergebnis

      Kühlmedien, Schmiermittel, Öle und Fingerabdrücke – diese und viele andere Verunreinigungen bleiben häufig auf Bauteilen zurück. In Vakuumanwendungen desorbieren diese Rückstände von der Oberfläche und können die Prozesse im Vakuum negativ beeinflusse oder auch den Enddruck begrenzen. Da die Vermeidung von Kontamination nicht möglich ist, bieten wir Ihnen als Alternative die Reinigung der Bauteile nach definierten VACOM Purity Classes an. Dabei garantieren wir das Reinigungsergebnis gemäß den Spezifikationen in der folgenden Übersicht:

      VACOM Feinstreinigung

      Für eine bestmögliche Oberflächenveredelung und ein Ergebnis gemäß der VACOM Purity Classes bedarf es einer gründlichen Reinigung und optimalen Oberflächenbehandlung der Vakuumkomponenten unter Reinraumbedingungen. Zu den Reinigungsverfahren, die VACOM anbietet, gehören das Elektropolieren, die Ultraschallreinigung, die Ozonreinigung, das Ausheizen im Vakuumofen und das Ausheizen von Vakuumkammern.

      Um das Ergebnis der Reinigung zu überprüfen, bedienen wir uns verschiedener Prüfverfahren, wie der Partikelmessungen, der Schwarzlichtkontrolle und einem einzigartigem Messgerät, VIDAM, welches integral und zerstörungsfrei filmische Verunreinigungen quantitativ bestimmt.

      Entsprechen die Ergebnisse dem gewünschten Reinigungsgrad, werden die Komponenten reinraumtauglich verpackt, um das Reinigungsergebnis dauerhaft zu konservieren.

    • Ausgasanalyse

      Qualitative und quantitative Ausgasmessungen an Materialien und Baugruppen

      Die Beurteilung des Ausgasverhaltens von Werkstoffen, Komponenten und Baugruppen ist für viele moderne Technologieprozesse essenziell. Dabei handelt es sich einerseits um die grundsätzliche Einstufung von Werkstoffen hinsichtlich ihrer Eigenschaften, die sowohl vom Einsatzdruck als auch von den vorherrschenden Temperaturen abhängig sind. Andererseits sind Messungen des Ausgasverhaltens ein Qualitätsprüfverfahren für die Reinigung von Materialien und Komponenten.

      Wir bieten Ihnen Ausgasmessungen mittels qualitativer und quantitativer Restgasanalyse (RGA) an. Die Messung der Ausgasraten deckt den Massenzahlbereich bis 500 m/z ab.

      Spektrum eines FertigungshilfsmittelsDurch diese Messungen können wir bestimmen, ob das Ausgasverhalten der Werkstoffe reversibel ist oder ob die Ausgasung die Werkstoffeigenschaften nachhaltig verändert hat. Dazu bestimmen wir den Masseverlust. Zu jeder Messung wird Ihnen ein Protokoll ausgestellt, in dem die zeitabhängige Ausgasrate Ihrer Baugruppe dokumentiert ist. Gerne übernehmen wir für Sie auch die Auswertung der Messergebnisse und interpretieren Sie mit Ihnen gemeinsam.

      Mit Hilfe unseres Messverfahrens und der Protokollierung können Sie Ihre Werkstoffe explizit charakterisieren sowie Prozesse anpassen, weiterentwickeln und reproduzierbar gestalten.

      AusgasanalyseMit unserem einzigartigen VIDAM Messgerät können massenspezifische Ausgasraten bis zu 1 • 10-14 mbar l/s/cm2 nachgewiesen werden. Die Nachweisbarkeit und Analysierbarkeit der Restgaszusammensetzung wird entscheidend durch das Oberflächenverhältnis von Prüflingen beeinflusst.

      Je nach Verschmutzungsgrad oder den Eigenschaften des Werkstoffes bei Anlieferung, werden die Prüflinge in verschiedene Klassen eingeteilt und das optimale Detektionslimit bestimmt. Dabei stehen uns verschiedene Messgeräte für die verschiedenen Detektionslimits zur Verfügung, wenn gewünscht auch in Reinraumqualität.

      Unsere VIDAM Messgeräte werden regelmäßig und nach strengen Vorgaben gewartet und kalibriert, um die hohe Qualität und Messgenauigkeit nachhaltig zu garantieren.

  • VACOM
    • Karriere
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        Im Folgenden finden Sie unsere derzeitigen Stellenausschreibungen.

        Haben Sie sich in den aktuellen Stellenausschreibungen nicht wiedererkannt? Dann freuen wir uns über Ihre Initiativbewerbung.

         

        • Quereinsteiger

          Sie können oder wollen aus verschiedenen Gründen nicht mehr in Ihrem bisherigen Beruf tätig sein? Sie haben den Wunsch, sich in einem neuen Aufgabenfeld zu verwirklichen, das nicht mit Ihrer Qualifikation in Zusammenhang steht? Wir bei VACOM setzen auf Vielfalt in unserer Belegschaft und fördern lebenslanges Lernen. Nutzen Sie Ihre Talente und Fähigkeiten und wagen Sie den Neustart in unserem Unternehmen!

        • Fachkräfte mit Berufsausbildung

          Ob Berufseinsteiger oder Berufserfahrener, wir bieten Ihnen vielfältige Perspektiven im technischen oder kaufmännischen Bereich. Bringen Sie Ihr Wissen aktiv ein und wachsen Sie mit uns an neuen Herausforderungen.

          Fertigung/Produktion

          Technischer Bereich

          Kaufmännischer BereichIT BereichKindergarten

           

        • Hochschulabsolventen

          Ob Sie als Fachkraft mit technischem oder betriebswirtschaftlichem Hintergrund zu uns kommen oder als Führungskraft Verantwortung übernehmen möchten, wir bieten Ihnen eine innovative Arbeitsumgebung, in der Sie Ihre Kompetenzen entfalten können.

          Naturwissenschaftlich-technischer Bereich
          Wirtschaftswissenschaftlicher Bereich IT-Bereich
          Kindergarten

        • Schüler und Studierende
      • Ausbildungsstellen

        Auszubildende

        Nach dem Schulabschluss beginnt eine neue Lebensphase, in der du viele neue Erfahrungen sammelst. Als Auszubildende/r bei VACOM kannst du dich ausprobieren und deine Ideen einbringen. Von Anfang an trauen wir dir etwas zu, lassen dich selbstständig an Projekten arbeiten und Verantwortung übernehmen. Du lernst verschiedene Unternehmensbereiche kennen und kannst in verschiedene Abteilungen und Aufgabengebiete hineinschnuppern. Nach erfolgreichem Abschluss der Ausbildung steht einer Übernahme in der Regel nichts entgegen.

        Derzeit bieten wir dir folgende Ausbildungsberufe an:

        Gern kannst du deinen Wunschberuf vor Beginn einer Ausbildung näher kennenlernen, indem du ein Orientierungspraktikum bei uns absolvierst. Dabei hast du auch die Gelegenheit, mit unseren Auszubildenden und Mitarbeitern ins Gespräch zu kommen und deine Fragen loszuwerden.

        Ausbildungsbeginn ist der 1. August 2019. Auch ein späterer Einstieg ist nach individueller Absprache möglich.

        Wir freuen uns auf deine Bewerbung im PDF-Format mit folgenden Unterlagen:

        Bewerbungsschreiben Bewerbungsanschreiben
        Lebenslauf Lebenslauf
         
        • persönliche Daten
        • Schulbildung
        • Praxiserfahrungen (Ferienjobs, Praktika)
        • Kenntnisse und Fähigkeiten (z. B. Sprach- und Computerkenntnisse)
        • Hobbys, Interessen, ehrenamtliches Engagement
        Zeugnisse Kopie des Schulabschlusszeugnisses
         Praktikumszeugnisse ggf. Kopie von Praktikumszeugnissen und Zertifikaten (z. B. Sprachzeugnisse)

        Für weitere Fragen steht dir unser Team gern zur Verfügung.

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        Anne Granda
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        Tel. +49 3641 8734-144

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    Die Firma VACOM ist stets bemüht, Ihnen bei der Einsendung von Produkten eine schnelle und reibungslose Bearbeitung zu gewährleisten. Um die Abwicklung für Sie und für uns einfacher und effizienter zu gestalten, nutzen Sie bitte unser Formular zur Wareneinsendung.

    Bitte beachten Sie folgendes:

    • Das Formular kann als PDF Dokument direkt ausgefüllt und versendet werden.
    • Sie erhalten innerhalb kürzester Zeit via E-Mail eine Bearbeitungsbestätigung mit Ihrem zuständigen Kundenbetreuer und einer RMA-Nummer (z.B. 10001010).
    • Für die Einsendung bitten wir Sie das Paket mit der RMA-Nummer zu kennzeichnen.

     

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