Ionengetterpumpen

Vakuumerzeugung mit Ionengetterpumpen

merkurion 20 basic

Bei Drücken < 10-9 mbar werden allem voran IGPs eingesetzt, da sie aufgrund ihres hohen Saugvermögens in diesem Bereich ungeschlagen sind. Sie bieten das sauberste und preiswerteste Verfahren, um ein extremes Ultrahochvakuum zu erreichen und zu erhalten. IGPs fangen Gasmoleküle ein und halten sie fest, indem sie diese in feste Bestandteile umwandeln und in der Pumpe binden. Dadurch bewahren sie auch dann das Vakuum, wenn sie kurzzeitig nicht in Betrieb sind. IGPs besitzen keine beweglichen Teile und sind deshalb ideal für abgeschlossene Systeme, die eine dauerhaft zuverlässige Funktion erfordern. Außerdem arbeiten sie absolut schwingungs- und erschütterungsfrei bei einem sehr geringen Energiebedarf. Dies macht sie auch für Anwendungen im Hochvakuum-Bereich < 10-6 mbar attraktiv, bei denen eben diese Eigenschaften gefordert sind. Der Wartungsaufwand ist über die gesamte Lebensdauer minimal.

 

Typische Anwendungen

Die Liste der Anwendungen für IGPs ist äußerst vielfältig. Sie bilden einen festen Bestandteil von wissenschaftlichen Instrumenten, etwa in der Beschleunigerphysik, der Massenspektrometrie und der Oberflächenanalytik. Weiterhin erfordern die Herstellung von Vakuumröhren, die Entwicklung und Produktion von Halbleiterelementen, die Weltraum-Simulation und viele weitere Bereiche den Einsatz von IGPs. Hier sei insbesondere noch auf die Anwendung in der Elektronenmikroskopie und Elektronenstrahllithographie hingewiesen. Trotz der dort üblichen, verhältnismäßig hohe Drücke, sind IGPs aufgrund ihrer absoluten Schwingungsfreiheit für diese Anwendungen unverzichtbar.

 

Funktionsweise von Dioden-Ionengetterpumpen

Funktionsweise von Dioden-Ionengetterpumpen

Eine IGP vom Typ Diode setzt sich zusammen aus einem oder mehreren Pumpelementen (je nach Saugvermögen), dem dazugehörigen externen Eisenjoch mit Permanentmagneten und dem Pumpgehäuse. Die Pumpelemente verrichten hierbei die eigentliche Pumparbeit. Jedes Pumpelement besteht aus einem festen Verbund aus zwei Kathodenblechen und einem Anodenelement (kurz Anode genannt), wobei diese über einen Keramikisolator elektrisch voneinander isoliert sind.

Die Anode ist aus zahlreichen kurzen Röhren aufgebaut, die wie Waben aneinander gesetzt sind. Jede Röhre bildet das Zentrum einer Penning-Zelle (A, B und C). Die Anode befindet sich zwischen den beiden Kathodenblechen, die durch einen Spalt von der Anode getrennt sind, worin die Restgasteilchen im Vakuum zum „Abpumpen“ einfallen können.

Je mehr Zellen das Pumpelement enthält, desto höher ist das Saugvermögen. Ein oder mehrere Pumpelemente werden in das Pumpengehäuse eingebaut. Das Pumpengehäuse ist an sich eine kleine Vakuumkammer, die Taschen zur Aufnahme der Pumpelemente besitzt. Die Permanentmagnete werden von außen auf die Taschen gesetzt und vervollständigen mit dem Eisenjoch den Aufbau.

 

Die Pumpwirkung einer IGP basiert auf folgenden Phasen:

1. Erzeugung einer Elektronenwolke
2. Ionisierung der Gasmoleküle
3. Ionenaufprall und Freisetzung von reaktivem Kathodenmaterial
4. Bindung von Gasteilchen und neutralisierten Ionen

 

Produktübersicht

Effizienz made in Germany.
VACOM® hebt die Technologie der Ionengetterpumpen mit seiner neuen MERKURION®-Serie auf ein bisher unerreichtes Niveau. Wählen Sie aus unserem großen Sortiment leistungsstarker basic- und pro-Pumpen, um Ihr UHV und XHV zu erreichen und effizient zu halten. Mit dem Angebot unterschiedlicher Flanschanschlüsse und Pumpengrößen sind für verschiedene Kammern bzw. Anwendungen geeignete Pumpen verfügbar. Die hohe Lebensdauer unserer zuverlässigen Pumpen ermöglicht dauerhafte Anwendungen im Hochvakuum. Das Saugvermögen unserer Pumpen wird gemäß DIN 28429 spezifiziert. Für das Pumpen von Edelgasen sind die Pumpen der pro-Serie auch mit einem edelgasstabilisierten differentiellen Pumpelement (Ta/Ti-Noble-Diode) verfügbar. Alle pro-Pumpen können ganz ohne zusätzliche Isolierungsmaßnahmen mit Aluminiumfolie ausgeheizt werden. Die optional integrierbare Heizung sorgt für eine gleichmäßige Temperaturverteilung über die gesamte Pumpe.

Wählen Sie Ihr IGP-Komplettpaket und Sie sind sofort einsatzbereit. Wählen Sie aus zwei verschiedenen Betriebsgeräten, um die beste Leistung mit Ihrer Ionengetterpumpe zu erzielen. Die Bedienung ist intuitiv und einfach, per Tasten oder Touchscreen. Darüber hinaus ist auch ein Datenaustausch via Schnittstelle möglich. Rufen Sie alle relevanten Informationen über das Display ab und lassen Sie sich diese je nach Bedarf auch als grafische Diagramm-Ansicht darstellen.
Natürlich erhalten Sie bei uns auch ausheizfähige Kabel mit Sicherheits-Interlock (SAFECONN).

Wir bieten Ihnen eine umfassende, kompetente Beratung und stehen Ihnen für alle Fragen rund um MERKURION® stets zur Seite.

 

merkurion 20 basic vorschaubild  merkurion pro 50 vorschaubild  merkurion controller montage vorschau kabel 5355 vorschaubild

MERKURION® basic

MERKURION® pro

IGP-Controller

IGP-Zubehör

Online bestellen Bestellen Sie jetzt Ionengetterpumpen online.  

Haben Sie weitere Fragen?
Kontaktieren Sie uns: Diese E-Mail-Adresse ist vor Spambots geschützt! Zur Anzeige muss JavaScript eingeschaltet sein!

Unser Angebot

Aktuelle Seite: Home Produkte Ionengetterpumpen