Ionengetterpumpen und Titansublimationspumpen

IonengetterpumpenVakuumerzeugung mit Ionengetterpumpen

Vor dem Siegeszug der Turbomolekularpumpe wurden Ionengetterpumpen (IGPs) in nahezu jeder Vakuum-Anwendung, die Drücke im Hochvakuum-Bereich <10-6 mbar erforderte, eingesetzt. Heute finden IGPs mit größerem Saugvermögen ihren überwiegenden Einsatz im Bereich mit Drücken <10-9 mbar. Hier stellen IGPs nach wie vor das sauberste und preiswerteste Verfahren dar, um ein Ultrahochvakuum zu erhalten. IGPs fangen Gasmoleküle ein und halten sie fest, indem sie diese in feste Bestandteile umwandeln und in der Pumpe binden. Dadurch bewahren IGPs auch dann das Vakuum, wenn sie nicht in Betrieb sind. Sie besitzen keine beweglichen Teile und sind deshalb ideal für abgeschlossene Systeme, die eine dauerhaft zuverlässige Funktion erfordern. Außerdem arbeiten IGPs absolut schwingungs- und erschütterungsfrei bei einem sehr geringen Energiebedarf. Der Wartungsaufwand ist über die gesamte Lebensdauer minimal.

Typische Anwendungen

Die Liste der Anwendungen für IGPs ist äußerst vielfältig. Sie bilden einen festen Bestandteil von wissenschaftlichen Instrumenten, etwa in der Beschleunigerphysik, der Massenspektrometrie und der Oberflächenanalytik. Weiterhin finden IGPs ihren Einsatz bei der Herstellung von Vakuumröhren, in der Entwicklung und Produktion von Halbleiterelementen, der Weltraum-Simulation und in vielen weiteren Bereichen. Hier sei insbesondere noch auf die Anwendung in der Elektronenmikroskopie und Elektronenstrahllithographie hingewiesen. Obwohl dort verhältnismäßig hohe Drücke üblich sind, sind IGPs aufgrund ihrer absoluten Schwingungsfreiheit für diese Anwendungen unverzichtbar.

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