Mechanische Durchführungen

In Vakuumprozessen ist es vielfach erforderlich, mechanische Bewegungen in das Vakuumsystem zu übertragen. Zur Ausführung der erforderlichen Bewegungen wie z.B. Rotation oder Translation werden verschiedene Systeme, ohne und mit Magneten, eingesetzt::

  • Elastomergedichtete Durchführungen im HV-Bereich bzw. mit Membranbalg gedichtete Systeme für  den Einsatz im UHV. Durchführungen mit Membranbalg bieten die höchste Präzision und Reproduzierbarkeit der Bewegung. Zudem können die Systeme vollständig frei von Magnetfeldern aufgebaut werden, was für verschiedene Einsatzbereiche ein entscheidendes Kriterium ist.
  • Magnetisch gekoppelte Systeme. Die Bewegung wird mittels einer atmosphärenseitigen Vorrichtung über eine Magnetkupplung auf eine Welle im Vakuum übertragen. Dabei ist das Gehäuse aus einem Stück gefertigt und nur zum Vakuum hin offen. Starke Magnete gewährleisten eine starre Kopplung, was die Übertragung großer Drehmomente und hoher Axiallast ermöglicht.
  • Magnetofluid-gedichtete Drehdurchführungen. Dabei kommen Magnetofluide mit einem niedrigen Dampfdruck zum Einsatz. Speziell geformte Polschuhe und starke Magnete halten das Magnetofluid in Form von flüssigen O-Ringen fest. Das Gehäuse bündelt die Magnetfelder im Inneren der Drehdurchführung, so dass außen nur ein vernachlässigbares magnetisches Streufeld übrig bleibt.

Anspruchsvolle Anwendungen erfordern oftmals die Übertragung komplexer Bewegungsabläufe. Diese Aufgaben übernehmen Manipulatoren, die verschiedene Linear- und Drehbewegungen unabhängig voneinander ermöglichen und auch mit Systemen zur Probenheizung oder -kühlung ausgestattet sein können.

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