Dichtungswerkstoffe

In der Vakuumtechnik kommen diverse Dichtungswerkstoffe zum Einsatz. Die Wahl des richtigen Werkstoffs hängt von den gewünschten Eigenschaften ab, insbesondere hinsichtlich:

  • Enddruck
  • Temperatur
  • Ausgasverhalten
  • Gaspermeation
  • Chemischer Beständigkeit
  • Strahlungsbeständigkeit

Bei KF- und ISO-Bauteilen sind O-Ringe aus NBR und FKM üblich. Für CF- und QCF-Bauteile hingegen verwendet man standardmäßig Flachdichtungen aus sauerstofffreiem Kupfer. Bei Spezialanwendungen kommen auch andere Werkstoffe zum Einsatz.

Elastomerdichtungen

Werkstoff
 NBR
(Acrylnitril-Butadien-
Kautschuk)		 FKM
(Fluor-Kautschuk)		 FFKM
(Perfluor-
Kautschuk)		 PTFE
(Polytetra-fluorethylen)
 MVQ
(Methyl-Vinil-
Silicon-
Kautschuk)
Flanschsystem KF, ISO KF, ISO, CF, QCF  KF, ISO  KF  KF, ISO
Ausführung O-Ring  O-Ring bzw.
Flachdichtung		  O-Ring  Kantendichtung O-Ring
Bemerkung Standard-Werkstoff
für KF und ISO		  Standard-Werkstoff
für KF und ISO		  Einsatz überwiegend
in der
Halbleitertechnik		 große Andruckkräfte,
Spannketten oder
Spezial-Spannringe		 Standard-
Werkstoff für
KF und ISO

Metalldichtungen

Werkstoff Aluminium Kupfer (OFHC)
Flanschsystem KF, ISO, CF  CF, QCF
Ausführung  Kantendichtung, Flachdichtung Flachdichtung
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