Dichtungswerkstoffe
In der Vakuumtechnik kommen diverse Dichtungswerkstoffe zum Einsatz. Die Wahl des richtigen Werkstoffs hängt von den gewünschten Eigenschaften ab, insbesondere hinsichtlich:
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Bei KF- und ISO-Bauteilen sind O-Ringe aus NBR und FKM üblich. Für CF- und QCF-Bauteile hingegen verwendet man standardmäßig Flachdichtungen aus sauerstofffreiem Kupfer. Bei Spezialanwendungen kommen auch andere Werkstoffe zum Einsatz.
Elastomerdichtungen
| Werkstoff |
NBR (Acrylnitril-Butadien- Kautschuk) |
FKM (Fluor-Kautschuk) |
FFKM (Perfluor- Kautschuk) |
PTFE (Polytetra-fluorethylen) |
MVQ (Methyl-Vinil- Silicon- Kautschuk) |
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| Flanschsystem | KF, ISO | KF, ISO, CF, QCF | KF, ISO | KF | KF, ISO | ||||
| Ausführung | O-Ring | O-Ring bzw. Flachdichtung |
O-Ring | Kantendichtung | O-Ring | ||||
| Bemerkung | Standard-Werkstoff für KF und ISO |
Standard-Werkstoff für KF und ISO |
Einsatz überwiegend in der Halbleitertechnik |
große Andruckkräfte, Spannketten oder Spezial-Spannringe |
Standard- Werkstoff für KF und ISO |
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Metalldichtungen
| Werkstoff | Aluminium | Kupfer (OFHC) | ||
| Flanschsystem | KF, ISO, CF | CF, QCF | ||
| Ausführung | Kantendichtung, Flachdichtung | Flachdichtung | ||
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