Produktübersicht

Heißkathoden-Ionisationssensoren aus der Produktserie BARION® bestimmen den Druck zwischen Feinvakuum und Ultrahochvakuum. Das BARION® extended hebt sich aus der Serie besonders heraus, da er Druck sogar bis in den Bereich des extremen Ultrahochvakuum messen kann. Im Allgemeinen sind die Bayard-Alpert-Sensoren von VACOM mit einem breiten Messbereich ausgestattet. Dies macht sie besonders für einen Einsatz in Forschungs- und Entwicklungsprozessen, die eine Messung im tiefen Druck erfordern, geeignet. VACOM nutzt dabei ausschließlich mit Yttriumoxid beschichtete Iridiumfilamente, die sich durch hohe Stabilität und Emission auszeichnen. BARION® basic II und pro II können durch die Elektronik VaX link B schnell und einfach zum aktiven Sensor umgewandelt werden. Weiterhin wurde auch eine Technik für lokale Druckmessungen für Molecular Beam Epitaxy (MBE) entwickelt, die sich im BARION® move wiederfindet.

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BARION® basic II BARION® pro II BARION® HV BARION® extended
BARION® basic BARION pro BARION® HV BARION extended
 *Die basic Version für Druckmessungen bei generellen F&E- Anwendungen im UHV- Bereich (z.B. STM, ARPES, EPR usw.) Die neu entwickelte pro Version für präzise Druckmessungen in F&E-Anwendungen, bei denen ein hohes Maß an Reproduzierbarkeit über verschiedene Experimente notwendig ist (MBE-Kammern, Untersuchung von Dünnschichtsystemen etc. *Hervorragende Reproduzierbarkeit und Genauigkeit in prozessrelevantem Druckbereich.
Einfache Bedienung und Wartung durch intelligente Sicherheitsvorkehrungen und
Plug'n Play-Ersatzteilen
Die extended Version für Druckmessungen bis in den XHV-Bereich (z.B Beschleuniger, FEL, e-Beam Lithografie usw) 
Messbereich [mbar]: 1 • 10-11 bis 1 • 10-2 1 • 10-11 bis 1 • 10-2 5 • 10-10 bis 1 • 10-2 5 • 10-12 bis 1 • 10-2
Ausheiztemperatur [°C]: 200 (in Verwendung mit VaX + Kable)
150 am Kammerflansch (in Verwendung mit VaX linkB)
150 am Kammerflansch 400
Betriebstemperatur [°C]: 200 200 10 bis 50 200
Vakuumanschluss: CF40 CF40 KF16 / KF25 / CF 40 CF40
Filamente: 2x Iridium, Yttriumoxid beschichtet (auswechselbar) 2x Iridium, Yttriumoxid beschichtet (auswechselbar) 2x Iridium, Yttriumoxid beschichtet (nicht auswechselbar) 2x Iridium, Yttriumoxid beschichtet (auswechselbar)
Schnittstellen: - - Daten I/O: D-Sub, 9-polig (female) mit RS232, Analog (0…10 V, 0…20 mA, 4…20 mA) -
Schaltpunkte: - - 2 -
Kabel:
(X = Kabellänge [m])
CABLE-VAX-BARIONBPS-X
CABLE-VAX-LAH-X (in Kombination mit VaX linkB)
CABLE-VAX-LAH-X BATLX
Step-Datei:       Download BARION-extended.stp
Datenblatt: Download Datenblatt Download Datenblatt   Download Datenblatt

 

Kompatible Steuerelektroniken:   VMG vorschau VaX VaX linkB
  VMG VaX Vacuum Explorer VAX linkB
Anzahl/Typ Sensoren: BARION® HV, VaX linkB

BARION® basic II, BARION® pro II,

BARION® HV, VaX linkB

BARION® basic II, BARION® pro II
Schnittstellen: RS232 Hauptgerät/Rückseite:
    1x RJ45 (RS485 und RS232), 1x Stromversorgung
   Hauptgerät/Frontseite: 
1x USB-Datenanschluss (USB-b),
1x USB-Ladebuchse (USB-a),
Heißkathodenmodul (rückseitig):
1x D-Sub-Mixed für passive BARION®-Sensoren, 11-polig
Aktivsensormodul (rückseitig):
3x RJ45 für aktive Sensoren
Daten I/O:
D-Sub, 9-polig mit RS232,
Analog (0…10 V, 0…20 mA, 4…20 mA)
Sensorsteuerung:
Spezialsteckverbinder für BARION®-Sensoren, 11-polig
Schaltpunkte: 2 - 1x Relais (potentialfrei, max. 30 V/ 0,5 A)
1x Open Collector (OC) (max. 30 V/ 0,5 A)
Datenblatt: Download Datenblatt Download Datenblatt Download Datenblatt


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