Produktübersicht

Die Sensoren der Firma VACOM bestimmen den Druck zwischen Atmosphäre und Ultrahochvakuum. Für Messungen in Bereichen von Atmosphärendruck bis Feinvakuum kommen Wärmeverlustvakuummeter (Pirani) zum Einsatz. Bei Drücken im Fein- bis Ultrahochvakuum kommt es zum Einsatz von Heißkathoden (Bayard-Alpert). Zwischen den beiden Messprinzipien wird automatisch umgeschaltet. So kann mit nur einem Messgerät der Druck  über 13 Dekaden bestimmt werden. Mit integrierter Elektronik beim BARION® atm II und BARION® HV, RS232-, RS485-Schnittstellen sowie einem Analogausgang wird die notwendige Kompatibilität gewährleistet.  Auch die passiven Sensoren BARION® smart und BARION® smartF sind einfach und schnell  mit einer Elektronik (VaX linkB) zum aktiven Sensor umgewandelt.

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BARION® atm II BARION® smart BARION® smartF
BARION atmII vorschau BARION® smart BARION® smartF

Störungsfreie Prozesskontrolle, kompakte und robuste Bauweise
und dazu große
Schnittstellenvielfalt.

Um Verschmutzungen in Prozessen (z.B. Sputtern) vorzubeugen, empfehlen wir den Einsatz eines Baffles.

Innovativer in-situ ausheizbares Weitbereichssensor bestehend aus Heißkathode und Pirani.

Aktiver (VaX linkB) oder passiver (VaX) Betriebsmodus möglich.
1 2 3Passiver Weitbereichssensor bestehend aus Heißkathode und Pirani. Mit auswechselbarem Filament.
Aktiver (VaX linkB) oder passiver (VaX) Betriebsmodus möglich.
Messbereich [mbar]: 5 · 10-10 bis 1000 5 · 10-10 bis 1000 (in Verwendung mit VaX linkB),
1 · 10-11 bis 1000 (in Verwendung mit VaX)
5 · 10-10 bis 1000 (in Verwendung mit VaX linkB),
1 · 10-11 bis 1000 (in Verwendung mit VaX)
Ausheiztemperatur [°C]: 150
(am Kammerflansch)
200 (in Verwendung mit VaX + Kabel)
150 am Kammerflansch
(in Verwendung mit VaX linkB)
200 (in Verwendung mit VaX + Kabel)
150 am Kammerflansch
(in Verwendung mit VaX linkB)
Betriebstemperatur [°C]: 10 bis 50 10 bis 50 (mit Elektronik VaX linkB)
200 (ohne Elektronik)
 10 bis 50 (mit Elektronik VaX linkB)
200 (ohne Elektronik)
Vakuumanschluss: KF16 / KF 25 / CF40 KF16 / KF 25 / CF40 CF40
Filamente: 2x Iridium, Yttriumoxid beschichtet
(nicht auswechselbar)
2x Iridium, Yttriumoxid beschichtet
(nicht auswechselbar)
2x Iridium, Yttriumoxid beschichtet
(auswechselbar)
Schnittstellen: Daten I/O: D-Sub, 9-polig (female) mit RS232, Analog (0…10 V, 0…20 mA, 4…20 mA) - -
Schaltpunkte: 2 -  -
Kabel:
(X = Kabellänge)
CABLE-VAX-LAH-X
CABLE-VMG-LAH-X
CABLE-VAX-LAH-X (in Kombination mit VaX linkB)
CABLE-VMG-LAH-X (in Kombination mit VaX linkB)
Datenblatt: Download Datenblatt Download Datenblatt  Download Datenblatt 

 

Kompatible Steuerelektroniken
(für diese Sensoren
verwendbar):
VMG VAX Vacuum Explorer VaX linkB
  VMG VaX Vacuum Explorer VaX linkB
Anzahl/Typ Sensoren/Elektronik: BARION atm II, VAX linkB BARION smart, BARION smartF
BARION atm II, VaX linkB
BARION smart, BARION smartF
Schnittstellen: RS232 Hauptgerät:
Rückseite: 1x RJ45 (RS485 und RS232),
1x Stromversorgung
Frontseite: 1x USB-Datenanschluss (USB-b),
1x USB-Ladebuchse (USB-a),
Heißkathodenmodul (rückseitig): 1x D-Sub-Mixed für passive Barion® -Sensoren, 11-polig
Aktivsensormodul (rückseitig): 3x RJ45 für aktive Sensoren
Daten I/O: D-Sub, 9-polig mit RS232, Analog (0…10 V, 0…20 mA, 4…20 mA)
Sensorsteuerung: Spezialsteckverbinder für Barion® -Sensoren, 11-polig
Schaltpunkte: 2 - 2
Datenblatt:   Download Datenblatt Download Datenblatt Download Datenblatt


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