Ausgasanalyse

Qualitative und quantitative Ausgasmessungen an Materialien und Baugruppen

Die Beurteilung des Ausgasverhaltens von Werkstoffen, Komponenten und Baugruppen ist für viele moderne Technologieprozesse essenziell. Dabei handelt es sich einerseits um die grundsätzliche Einstufung von Werkstoffen hinsichtlich ihrer Eigenschaften, die sowohl vom Einsatzdruck als auch von den vorherrschenden Temperaturen abhängig sind. Andererseits sind Messungen des Ausgasverhaltens ein Qualitätsprüfverfahren für die Reinigung von Materialien und Komponenten.

Wir bieten Ihnen Ausgasmessungen mittels qualitativer und quantitativer Restgasanalyse (RGA) an. Die Messung der Ausgasraten deckt den Massenzahlbereich bis 500 m/z ab.

Spektrum eines FertigungshilfsmittelsDurch diese Messungen können wir bestimmen, ob das Ausgasverhalten der Werkstoffe reversibel ist oder ob die Ausgasung die Werkstoffeigenschaften nachhaltig verändert hat. Dazu bestimmen wir den Masseverlust. Zu jeder Messung wird Ihnen ein Protokoll ausgestellt, in dem die zeitabhängige Ausgasrate Ihrer Baugruppe dokumentiert ist. Gerne übernehmen wir für Sie auch die Auswertung der Messergebnisse und interpretieren Sie mit Ihnen gemeinsam.

Mit Hilfe unseres Messverfahrens und der Protokollierung können Sie Ihre Werkstoffe explizit charakterisieren sowie Prozesse anpassen, weiterentwickeln und reproduzierbar gestalten.

AusgasanalyseMit unserem einzigartigen VIDAM Messgerät können massenspezifische Ausgasraten bis zu 1 • 10-14 mbar l/s/cm2 nachgewiesen werden. Die Nachweisbarkeit und Analysierbarkeit der Restgaszusammensetzung wird entscheidend durch das Oberflächenverhältnis von Prüflingen beeinflusst.

Je nach Verschmutzungsgrad oder den Eigenschaften des Werkstoffes bei Anlieferung, werden die Prüflinge in verschiedene Klassen eingeteilt und das optimale Detektionslimit bestimmt. Dabei stehen uns verschiedene Messgeräte für die verschiedenen Detektionslimits zur Verfügung, wenn gewünscht auch in Reinraumqualität.

Unsere VIDAM Messgeräte werden regelmäßig und nach strengen Vorgaben gewartet und kalibriert, um die hohe Qualität und Messgenauigkeit nachhaltig zu garantieren.

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