Ausheizen im Vakuumofen

VakuumofenVakuumkomponenten können zur weiteren Verringerung der Ausgaswerte unter Vakuum ausgeheizt werden. Die Desorptions- und Diffusionsraten aller Werkstoffe sind stark temperaturabhängig. Deshalb werden die Materialoberflächen bei hohen Temperaturen (z. B. 300 °C) von adsorbierten Teilchen befreit und die Diffusion von im Material befindlichen Molekülen wird beschleunigt. Demzufolge verbessert das Ausheizen die Ausgaswerte der Komponenten beim späteren Einsatz unter niedrigeren Drücken.
Ausgeheizter Edelstahl erreicht folgende Ausgaswerte:

2 • 10-10 mbar l/s*cm-2 für Wasser
2 • 10-12 mbar l/s*cm-2 für leichtflüchtige organische Verbindungen
1,5 • 10-13 mbar l/s*cm-2 für schwerflüchtige organische Verbindungen

Prozessparameter beim Ausheizen von Komponenten im Vakuumofen:

  • Vakuum bis zu 10-5 mbar
  • Temperatur bis zu 300 °C
  • Fassungsvermögen bis zu 420 x 480 x 500 mm Bauteilgröße

Während des Ausheizens können simultan die molekularen Bestandteile der Ausgasung mittels Massenspektrometrie ermittelt werden.

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