Ozonreinigung

OzonreinigungBei Rohren, deren Verhältnis von Durchmesser zu Länge größer als 1:50 ist, ist die Entfernung von Kohlenwasserstoffen (KW) durch Ausheizen nur begrenzt möglich, da die gasförmigen KW aus physikalischen Gründen ein langes Rohr nicht verlassen können und darin verbleiben.

Abhilfe bietet hier das Spülen mit Ozon, die sogenannte Ozonreinigung. Nach einer konventionellen Wäsche werden die Bauteile an einen Ozongenerator angeschlossen. Das Ozon bewirkt eine Aufspaltung und Umwandlung der unerwünschten KW-Kontaminationen in leicht ausspülbare Gase wie z. B. Wasserdampf und CO2. So können auch lange Rohrbaugruppen hochrein aufbereitet werden.

Das Verfahren bietet sich für Rohrbaugruppen der Reinstgastechnik an, die z. B. in CVD- oder Halbleiterprozessen eingesetzt werden:
Bauteile, die verwinkelt konstruiert sind, im Inneren Ecken, Spalten und Kanten aufweisen und komplizierte Geometrien darstellen. Die Baugruppen werden verschlossen und mit Reinststickstoff gefüllt ausgeliefert.