Qualitative und quantitative Ausgasmessungen an Materialien und Baugruppen

Die Beurteilung des Ausgasverhaltens von Werkstoffen, Komponenten und Baugruppen ist für viele moderne Technologieprozesse essenziell. Dabei handelt es sich einerseits um die grundsätzliche Einstufung von Werkstoffen hinsichtlich ihrer Vakuumtauglichkeit, die sowohl vom Einsatzdruck als auch von den vorherrschenden Temperaturen abhängig ist.

Andererseits sind Messungen des Ausgasverhaltens ein Qualitätsprüfverfahren für die Güte der Reinigung von Materialien und Komponenten. Unsere Messmethoden sind dabei so empfindlich, dass wir z. B. die Kontamination eines Montagehandschuhs mit leichten Spuren von Hautfetten an der montierten Baugruppe nachweisen können.

Wir bieten Ihnen Ausgasmessungen mittels qualitativer und quantitativer Restgasanalyse (RGA) an. Die Messung der Ausgasraten [mbar l/s] deckt den Massenzahlbereich bis 200 m/z (Masse/Ladung) ab. Unsere hochempfindlichen Messplätze erlauben den Nachweis kleinster Kontaminationen durch z. B. leicht- und schwerflüchtige organische Verbindungen (45...100 m/z und 101...200 m/z), um für Kunden mit höchsten Anforderungen die Sauberkeit der Vakuumkomponenten und -kammern zu gewährleisten. Die untere Nachweisgrenze unserer Massenspektrometer für den Partialdruck beträgt dabei 5 • 10-14 mbar.

Durch Wiederholung der Messung können wir bestimmen, ob das Ausgasverhalten der Werkstoffe reversibel ist oder ob die Ausgasung die Werkstoffeigenschaften nachhaltig verändert hat. Zu jeder Messung ist ein Protokoll lieferbar, das die zeitabhängige Ausgasrate Ihrer Baugruppen enthält. Gern übernehmen wir für Sie auch die Auswertung der Messergebnisse und interpretieren Sie mit Ihnen gemeinsam.

Mit unseren Restgasanalyse-Messständen können massenspezifische Ausgasraten bis zu 1 • 10-14 mbar l/s/cm2 nachgewiesen werden. Die Nachweisbarkeit/Analysierbarkeit der Restgaszusammensetzung wird entscheidend durch das Oberflächenverhältnis von Prüflingen und Messapparatur beeinflusst. Die Kalibrierung des Massenspektrometers ist ebenso essentiell wie die adäquate Wahl und Dimensionierung der Pumpen und die richtige Einstellung von Leitwerten.

Wir verfügen über einen reichen Erfahrungsschatz, um im Vorfeld zu entscheiden, ob die Messungen ein verwertbares Ergebnis erwarten lassen, indem wir das untere Detektionslimit unserer Messplätze mit dem zu erwartenden Ausgasverhalten Ihrer Proben vergleichen. Im Bedarfsfall können wir eine speziell für den Prüfprozess angepasste Messkammer mit entsprechendem unteren Detektionslimit entwerfen und bauen.

Unsere RGA-Messplätze werden regelmäßig und nach strengen Vorgaben gewartet und kalibriert, um die hohe Qualität und Messgenauigkeit nachhaltig zu garantieren.

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