Funktionsweise von Dioden-Ionengetterpumpen

Funktionsweise von Dioden-IonengetterpumpenEine IGP vom Typ Diode setzt sich zusammen aus einem oder mehreren Pumpelementen, den dazu gehörigen externen Permanentmagneten und dem Pumpengehäuse. Die Pumpelemente sind die Teile der Pumpe, die die eigentliche Pumparbeit verrichten. Jedes Pumpelement besteht aus 2 Kathodenblechen und einem Anodenelement, kurz Anode genannt.

Die Anode wiederum ist aus zahlreichen kurzen Metallzylindern aufgebaut, die wie Waben aneinander gesetzt sind. Jeder Zylinder bildet das Zentrum einer Penning-Zelle. Je mehr Zellen eine Anode enthält, um so höher ist das Saugvermögen des daraus aufgebauten Pumpelements. Die Anode befindet sich zwischen den beiden Kathodenblechen, die durch einen Spalt von der Anode getrennt sind.

Der Spalt ist so groß, dass er das Einströmen von Gas erlaubt. Anode und Kathoden sind fest verbunden und mittels Keramikisolatoren elektrisch isoliert. Sie bilden das Pumpelement. Ein oder mehrere Pumpelemente werden in das Pumpengehäuse eingebaut. Das Pumpengehäuse ist eine kleine Vakuumkammer, die Taschen zur Aufnahme der Pumpelemente besitzt. Die Permanentmagnete werden von außen auf die Taschen gesetzt und vervollständigen den Aufbau.

Zur Funktion einer IGP sind im Wesentlichen drei Prozesse notwendig:

1. Erzeugung einer Elektronenwolke
2. Ionisierung der Gasmoleküle
3. Ionenaufprall

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