IGP-Controller

REVION CU-100 vorschauREVION® CU-100 – Betriebsgerät für Ionengetterpumpen

Zum Betrieb von Ionengetterpumpen (IGP) ist eine Hochspannung von mehreren kV erforderlich. Das REVION® CU-100 eignet sich für den Betrieb kleiner Ionengetterpumpen bis zu einem Saugvermögen von ca. 75 l/s. Neben der Reinraumtauglichkeit zeichnet sich das Betriebsgerät vor allem durch eine genaue Druckanzeige für den Kammerdruck für den Bereich von 1 x 10-5 mbar bis 1 x 10-9 mbar sowie eine graphische Darstellung des Strom- und Druckverlaufs für die letzten 24 Stunden aus.