Produktübersicht

Mit der Eigenentwicklung der REVION® Serien haben wir es geschafft, bei gleichem effektiven Saugvermögen die Baugröße unserer Ionengetterpumpen (IGP) drastisch zu reduzieren. Das Saugvermögen wird gemäß DIN 28429 bestimmt und dokumentiert.

Die Standardausführung als klassische Diode ist ab Lager erhältlich, wodurch wir sehr kurze Lieferzeiten realisieren können. Außerdem bieten wir Ihnen eine umfassende, kompetente Beratung und stehen Ihnen in Servicefällen stets zur Seite.

Auch die ergänzende Steuerelektronik REVION® CU-100 ist made by VACOM®. In Kombination mit den REVION® IGP erhalten Sie ein System, das nicht nur effizient pumpt, sondern auch eine Messgenauigkeit von ca. 30 % vom Messwert für den Kammerdruck ermöglicht. Die grafische Darstellung des Druckverlaufs rundet das Gesamtpaket ab.

Die REVION® Ionengetterpumpen können auch modifiziert werden. So können wir sie beispielsweise mit QCF-Anschlüssen (Quick ConFlat®) ausstatten. Dieser Anschluss ermöglicht nicht nur eine wesentlich kürzere Montagezeit und eine Platzersparnis von einigen Zentimetern, sondern auch eine markante Steigerung des effektiven Saugvermögens.

Effizienz made in Germany.

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REVION® 35 REVION® 55 REVION® 75
REVION® 35 REVION® 55 REVION® 75
Anschlussflansch*: DN40CF DN63CF DN100CF
Abmessung (L x B x H) [mm]: 235 x 130 x 194 235 x 130 x 206 235 x 130 x 208
Gewicht [kg]: 16,7 17,6 18,7
Nennsaugvermögen (N2)[l/s]: 32 52 67
Enddruck [mbar]: ≤— 1 x 10-11
HV-Anschluss 10 kV SHV
Pumpenelementtyp: Konventionelle Diode
Datenblatt: Download Datenblatt
Step-Datei: Download Revion 35.stp  Download Revion 55.stp Download Revion 75.stp 
  • Auch als edelgasstabile Variante in der REVION®noble-Serie erhältlich

 * QCF-Flansch, zur Erhöhung des Leitwertes und des Saugvermögens um bis zu 30 %

Kompatible Steuerelektroniken: REVION® CU-100
REVION® CU-100
Netzteil: 24 V DC
Ausgangsspannung: Max. 7 kV, auf Druckbereich angepasst
Max. Leistung: 100 W
Schnittstellen: RS232
Schaltpunkte: 2 (konfigurierbar)
Histogramm: Strom-/Druckverlauf, 24 h Anzeige
Abmessung 
(L x B x H) [mm]:
325 x 120 x 102
Features: - Einfache und sichere Interlocklösung
- Lüfterlos


Weitere Informationen über Ionengetterpumpen und Titansublimationspumpen und physikalische Grundlagen finden Sie hier.