Titansublimationspumpen

Titansublimationspumpen (TSP) werden oft in Kombination mit Ionengetterpumpen eingesetzt, da sie für einige Gase ein besonders hohes Saugvermögen haben. In einer TSP werden Filamente aus einer Titan-Legierung soweit elektrisch beheizt, bis Titan von der Oberfläche der Filamente in das Vakuum sublimiert.

Das sublimierte Titan schlägt sich auf den umgebenden Flächen nieder und bildet eine dünne Schicht. Diese Schicht hat ein hohes Saugvermögen für reaktive Gase, die entweder mit ihr eine chemische Bindung eingehen oder adsorbiert werden. Mit zunehmender Bedeckung durch diese Gase sinkt das Saugvermögen wieder ab.

Durch Kühlung der Flächen mit Wasser oder flüssigem Stickstoff lässt sich das Saugvermögen noch deutlich steigern. Titansublimationspumpen sind besonders geeignet für Gase wie H2O, CO, CO2 und O2. Bei Stickstoffkühlung werden zusätzlich auch H2 und N2 sehr effektiv gepumpt.