Partialdruckmesstechnik

Die Zusammensetzung der Gase und Gasgemische spielt bei vielen Prozessen in Forschung, Entwicklung und Produktion eine wichtige Rolle. Bei verschiedenen Anwendungen wie z. B. CVD, Plasmaätzen oder der Vakuumanalyse von UHV-Systemen ist die Information über den Totaldruck nicht ausreichend, da für die Untersuchungen oder Verfahren gerade die Anwesenheit spezifischer Moleküle in der Anlage gemessen und dokumentiert werden muss. Zur Überprüfung, Steuerung und Optimierung der Prozesse werden daher Partialdruckmessgeräte angewandt. Sehr oft werden Quadrupol-Massenspektrometer (QMS) verwendet, da diese sich in den letzten Jahrzehnten als vielfältig einsetzbare Untersuchungsgeräte für die Prozesstechnik bewährt haben. Sie wurden im Laufe der Zeit immer weiter entwickelt und bieten heute eine große Leistungsfähigkeit verbunden mit einfacher und unkomplizierter Bedienung.

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