FAQ-Totaldruckmesstechnik

ATMION

Frage: Auf dem ATMION® wird eine falsche Druckanzeige angegeben/die Druckanzeige wird schwankend dargestellt. Wie kann das sein?
Antwort: Falls der angezeigte Druck deutlich niedriger ist als erwartet, können Verschmutzungen ein Grund sein. Diese können auch zu einem schwankendem Verhalten des angezeigten Druckes führen. In solchen Fällen ist ein Degas* durchzuführen. Ein weiterer Grund für schwankende Druckwerte kann eine zu hohe Temperatur an der Steuerelektronik sein. Diese sollte 40°C nicht überschreiten.
* Für Y-Kabel ATMION® siehe Bedienungsanleitung Seite 13
  Für MVC-3 siehe Bedienungsanleitung Seite 31
  Für ATMIGRAF® siehe Bedienungsanleitung Seite 17

Frage: Ein gelb-grünes Blinken wechselt sich ab. Schwankt der Sensor des ATMION® zwischen beiden Messmodi?
Antwort: Ja, das ist richtig. Dann ist ein Abgleich des Pirani-Messzweiges durchzuführen. Dabei muß ein Druckabgleich** bei Atmosphärendruck und bei p<1e-3 mbar erfolgen.
Wichtig: Dieser Abgleich funktioniert nur im Pirani-Modus. Im Auto-Mode wird kein Abgleich vorgenommen.
** Für Y-Kabel  ATMION® siehe Bedienungsanleitung auf Seite 13
    Für MVC-3 siehe Bedienungsanleitung auf Seite 44
    Für ATMIGRAF® siehe Bedienungsanleitung auf Seite 15

Frage: Am ATMION® erscheint ein rotes Blinken. Liegt hier ein Piranifehler vor?
Antwort: Ja, in diesem Fall muss der Messkopf ersetzt werden.

Frage: Es wird im Pirani-Modus ein falscher Druck angezeigt. Hat sich die Kalibrierung verändert?
Antwort: Ja, es wird empfohlen, nach jedem Belüftungszyklus einen Atmosphären- und Vakuumabgleich** durchzuführen.
Nach De- und Remontage eines ATMION® ist zu beachten, dass die Pirani-Messmethode leicht lageabhängig ist und dementsprechend ein neuer Abgleich durchgeführt werden muss.
** Für Y-Kabel  ATMION® siehe Bedienungsanleitung auf Seite 13
    Für MVC-3 siehe Bedienungsanleitung auf Seite 44
    Für ATMIGRAF® Bedienungsanleitung auf Seite 15

Frage: Beim Evakuieren bleibt die Druckanzeige bei ca. 1e-3 mbar stehen, mein Kammerdruck ist aber deutlich niedriger. Ist mein Gerät kaputt?
Antwort: Nein, Grund hierfür ist häufig ein mangelnder Vakuumabgleich.

Frage: Wie kann ich prüfen, ob im Sensor alles in Ordnung ist?
Antwort. Fehler im Messkopf können umgangen werden, indem man Pins atmosphärenseitig überprüft. So wird gleichzeitig verifiziert, ob vakuumseitig alles korrekt miteinander verbunden ist. Dabei müssen die Filamentanschlüsse B1, B2 und C miteinander verbunden sein (R < 1 Ohm), ebenso beide Pirani-Draht-Anschlüsse D-Pin (R ca. 2 k Ohm) und beide Anodenanschlüsse F-Pin (R < 1 Ohm).
Untereinander dürfen keine Pins verbunden sein oder einen Kurzschluss zur Erde haben.

Pin-Belegung

VMG

Frage: Wieso hat die Funktion Adjust VAC keine Wirkung?
Antwort: Hierzu muss man in der Menüstruktur folgendermaßen vorgehen:
Settings => Digital Sensor => Emission Off => Adjust VAC => Emission Auto => Both Filaments

Frage: Das Update der Firmware wurde vor Abschluss abgebrochen. Was kann ich jetzt tun?
Antwort: Wurde das Firmware-Update vor dem Abschluss abgebrochen, kann es neu gestartet werden. Gehen Sie dabei vor, wie in der Bedienungsanleitung*** beschrieben und als hätte das Firmware-Update nicht stattgefunden. Sollte das Firmware-Update wiederholt nicht erfolgreich sein, wenden Sie sich bitte an Ihren zugehörigen Kundenbetreuer.
 *** siehe Kapitel 5.6 Firmware-Update

BARION / MVC3

Frage: Warum erscheint auf dem Display eine falsche Druckanzeige?
Antwort: Wenn der angezeigte Druck deutlich niedriger ist als erwartet, können Verschmutzungen ein Grund sein. Diese Verschmutzungen können auch zu einem schwankendem Verhalten des angezeigten Druckes führen. In diesem Fall ist ein Degas (Bedienungsanleitung: Seite 31) durchzuführen.

Frage: Auf dem Display des MVC3 wird der Fehler „Err p“ angezeigt. Was hat das zu bedeuten?
Antwort: In den allermeisten Fällen liegt hier kein Fehler vor, sondern der tatsächliche Druck in der Kammer liegt über 1e-2 mbar. Sie müssen nichts weiter unternehmen.

Frage: Was hat die Fehlermeldung „Fil br“ auf der Anzeige des MVC3 zu bedeuten?
Antwort: Möglicherweise liegt ein Filamentbruch vor und das Filament muss ersetzt werden. Überprüfung siehe "Verifizierung eines Filamentbruchs".

Frage: Wie kann ich einen Filamentbruch verifizieren?
Antwort: Atmosphärenseitig müssen die Pins B1, B2 und C miteinander verbunden sein: R < 1 Ohm. Dies kann mittels Multimeter überprüft werden.

Frage: Auf dem MVC3 wird „Err Ba“ angezeigt. Was kann ich tun?
Antwort: Eine mögliche Ursache für diese Fehlermeldung liegt am elektrischen Kontakt einer der Elektroden zur Erde bzw. untereinander. In diesem Fall muss der Sensorkopf eingesendet werden.  
Anmerkung: Die Pins B1-C, B2-C, D-D sind miteinander verbunden (R < 1 Ohm). Wenn kein Kurzschluss vorliegt, hilft oft ein Degas, um den Fehler zu beheben.
Die Fehlermeldung kann weiterhin auch auftreten, wenn nach dem Einbau neuer Filamente der Montagesteg nicht entfernt wurde.

Pin-Belegung
Frage: Ich habe Probleme bei der Druckmessung im tiefen UHV bzw XHV?
Antwort: Eine Ursache für eine inkorrekte Druckanzeige kann die Präsenz von magnetischen Streufeldern, beispielsweise in der Nähe von Ionengetterpumpen sein. Eine Abschirmung gegen diese Felder korrigiert die Druckanzeige.

Frage: Warum funktioniert die Kommunikation zwischen PC und MVC-3 nicht?
Antwort:

Das kann mehrere Gründe haben.  Zuerst sollte geprüft werden, ob die Baudraten auf beiden Seiten richtig eingestellt und RS232 bzw. RS485 ausgewählt sind. Ein Null-Modemkabel ist für die Übertragung generell NICHT geeignet.
Um die richtige Adresse des MVC-3 zu ermitteln, schließen Sie es temporär über RS232 am PC an:

  • Baudrate wie am Gerät einstellen
  • 8 Data Bits
  • 1 Stop Bit
  • Keine Parität
  • Kein Protokoll

Über den Befehl RSA lässt sich die Adresse herausfinden. Die Ausgabe in der Form 0xXX. XX ist dabei die RS485-Adresse. Danach muss das Gerät wieder auf die RS485-Schnittstelle umgeschaltet werden. Drücken Sie dazu lang auf [CONFIG], via [►]  bis „PArA Gen“ gehen, über [CONFIG] bis „rS“ springen und über [►] RS485 einstellen.  Anschließend müssen Sie das Gerät aus- und wieder einschalten. Nun kann mit dem Gerät wie folgt kommuniziert werden: XX<Befehl>.
Achtung: Zwischen RS485-Adresse und Befehl kommt kein Komma.

COLDION

Frage: Warum startet die Messung nicht?
Antwort: Abhängig vom Kammerdruck kann der Zündvorgang einige Minuten dauern. Weitere Ursachen für eine stark verlängerte Zündzeit oder das Ausbleiben des Zündvorgangs können folgende sein:
  • Die Magnete wurden zu hoch ausgeheizt (Maximaltemperatur im Datenblatt beachten)
  • Die Magnete wurden  falsch angeordnet
  • Die Magnete wurden nach der Demontage mit der falschen Polarität wieder eingesetzt

Positionierung der Magnete

 

Frage: Mir wird ein falscher/schwankender Druckwert angezeigt. Woran liegt das?
Antwort: Werden andere Gase als Luft und Stickstoff verwendet, sind die Gasartkorrekturfaktoren zu berücksichtigen (siehe Bedienungsanleitung). Bei Verwendung von Edelgasen kann es durch die, bei Penning-Entladungen bekannten, Edelgasinstabilitäten auch zu größeren, periodischen Druckschwankungen kommen. Ein zweiter Grund für eine falsche Druckanzeige ist auch durch die falsche Ausrichtung der Magnete möglich. Nord- und Südpol müssen sich auf der Innenseite gegenüberliegen. Weiterhin kann auch ein zu hohes Ausheizen, welches die Magnete beschädigt, Auslöser für eine falsche Druckanzeige sein.

Frage: Das Update der Firmware wurde vor Abschluss abgebrochen. Was kann ich jetzt tun?
Antwort: Wurde das Firmware-Update vor dem Abschluss abgebrochen, kann es neu gestartet werden. Gehen Sie dabei vor, wie in der Bedienungsanleitung*** beschrieben und als hätte das Firmware-Update nicht stattgefunden. Sollte das Firmware-Update wiederholt nicht erfolgreich sein, wenden Sie sich bitte an Ihren zugehörigen Kundenbetreuer.
 *** siehe Kapitel 6.2 Firmware-Update
 

Pirani

Frage: Warum wird mir ein falscher Druckwert angezeigt?
Antwort: In der Regel muss der Sensor einfach nur abgeglichen werden (siehe Bedienungsanleitung). Dies sollte nach jedem Belüftungszyklus erfolgen. Des Weiteren ist auf die vorgeschriebene Einbaulage und die Einhaltung der Umgebungstemperaturen (siehe Datenblatt) zu achten. Wenn andere Gasarten als Luft oder Stickstoff verwendet werden, sind aus dem Datenblatt die Korrekturfaktoren zu entnehmen.

 

Membranvakuummeter

Frage: Warum wird mir ein falscher Druckwert angezeigt?
Antwort: Der Sensor sollte regelmäßig abgeglichen werden (siehe Bedienungsanleitung).

 

Rohrfedermanometer

Frage: Die Anzeige bleibt immer auf einem bestimmten Wert hängen. Ist das Gerät defekt?
Antwort: Durch Überdruckbeanspruchung oder Verschleiß kann die Mechanik leicht hängen. Durch vorsichtiges Klopfen kann es unter Umständen schon behoben werden. Bei einer Überdruckbeaufschlagung über den maximal zulässigen Druck (siehe Datenblatt) kann die Mechanik auch dauerhaft geschädigt sein. In diesem Fall ist der Sensor defekt und muss ersetzt werden.

Hier beantworten wir Ihnen häufig gestellte Fragen. Sollten Sie weitere Fragen zu unseren Geräten haben, so können Sie sich auch gerne an Ihren Kundenbetreuer wenden.