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Wärmeverlustsensoren decken nach dem Pirani-Prinzip den gesamten Druckbereich von Atmosphäre bis Feinvakuum ab. Sie sind insbesondere für Anwendungen in der chemischen Industrie, der Vakuummetallurgie, dem Elektronenstrahlschweißen und bei Bedampfungsprozessen geeignet.

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PIRANI-Sensor PIRANI-Sensor
PSG500 PCG PSG55x 
Aktiver Sensor, robust und kompakt, ideal für nicht korrosive Anwendungen der chemischen Industrie und der Vakuummetallurgie, PVD und CVD Aktiver Sensor, der durch die Kombination des Pirani-Prinzips mit einem Membransensor eine verbesserte Genauigkeit bei p > 10 mbar aufweist und für einen erweiterten Messbereich bis 1500 mbar geeigent ist.
Für Anwendungen in der Vakuummetallurgie, Elektronenstrahlschweißen, PVD und CVD.
Messbereich [mbar]: 5E-4…1000 5E-4…1500
Ausheiztemperatur [°C]: < 80 (am Flansch)
< 250 (mit Verlängerungstubus)
< 80 (am Flansch)
Betriebstemperatur [°C]: 5...60 10…50
Genauigkeit: 15 % (1E-3…100 mbar)
50 % (<1E-3…>100 mbar)
50 % (5E-4…1E-3 mbar)
15 % (1E-3…100 mbar)
5 % (100…950 mbar)
2,5 % (950…1050 mbar)
Schnittstellen: Analog out Analog out, Profibus (opt.), Display (opt.)
Schaltpunkte: 2 (opt.) 2 (opt.)
Step-Datei: Download PIRANI-000-C-A-KF16
Download PIRANI-000-C-A-CF16R
Download PIRANI-000-C-A-CF16RL
Download PIRANI-000-C-A-NPT18
Download  PIRANI-00M-C-A-KF16

 

Kabel:
(X=Kabellänge [m])
CABLE-VAX-PIRANI-S00-X, CABLE-VMG-PIRANI-S00-X

 

Kompatible Steuerelektroniken: VMG Vacuum Explorer VaX
  VMG Vacuum Explorer VaX
Anzahl/Typ Sensoren: PIRANI-Serie
Schnittstellen: RS232 Hauptgerät:
   Rückseite: 1x RJ45 (RS485 und RS232),
1x Stromversorgung
   Frontseite: 1x USB-Datenanschluss (USB-b),
1x USB-Ladebuchse (USB-a),
Heißkathodenmodul (rückseitig):
1x Sub-D-Mixed für passive BARION®-Sensoren, 11-polig
Aktivsensormodul (rückseitig):
3x RJ45 für aktive Sensoren
Schaltpunkte: 2 -
Datenblatt: Download Datenblatt Download Datenblatt


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