Weitbereichssensoren

Die Funktionalität eines Vakuummeters durch Kombination unterschiedlicher Messprinzipien erweitern

In vielen Fällen erfordern Vakuumprozesse den Einsatz von zwei oder mehr Messprinzipien, um den interessierenden Druckbereich abzudecken oder die erforderliche Messgenauigkeit zu erreichen. Hierzu stehen Vakuummeter zur Verfügung, die unterschiedliche Messprinzipien in einem Gerät kombinieren. Typische Kombinationen sind Bayard-Alpert + Pirani (z. B. BARION® atm II), invertiertes Magnetron + Pirani  oder Pirani + kapazitiv (z. B. Pirani-Serie).

 

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