Produktübersicht

Die Sensoren der Firma VACOM bestimmen den Druck zwischen Atmosphäre und Ultrahochvakuum. Für Messungen in Bereichen von Atmosphärendruck bis Feinvakuum kommen Wärmeverlustvakuummeter (Pirani) zum Einsatz. Bei Drücken im Fein- bis Ultrahochvakuum kommt es zum Einsatz von Heißkathoden (Bayard-Alpert). Zwischen den beiden Messprinzipien wird automatisch umgeschaltet. So kann mit nur einem Messgerät der Druck  über 13 Dekaden bestimmt werden. Mit integrierter Elektronik beim BARION® atm II und BARION® HV, RS232-, RS485-Schnittstellen sowie einem Analogausgang wird die notwendige Kompatibilität gewährleistet.  Auch die passiven Sensoren BARION® smart und BARION® smartF sind einfach und schnell  mit einer Elektronik (VaX linkB) zum aktiven Sensor umgewandelt.

Haben Sie Interesse, Anregungen, Fragen oder besondere Wünsche? Dann freuen wir uns über Ihren Anruf!

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BARION® atm II BARION® HV BARION® smart BARION® smartF
BARION atm BARION® HV BARION® smart BARION® smartF

Störungsfreie Prozesskontrolle, kompakte und robuste Bauweise
und dazu große
Schnittstellenvielfalt.

Um Verschmutzungen in Prozessen (z.B. Sputtern) vorzubeugen, empfehlen wir den Einsatz eines Baffles.

Hervorragende Reproduzierbarkeit und Genauigkeit in prozessrelevantem Druckbereich. 

Einfache Bedienung und Wartung durch intelligente Sicherheitsvorkehrungen und Plug'n Play-Ersatzteilen.
Innovativer in-situ ausheizbares Weitbereichssensor bestehend aus Heißkathode und Pirani.

Aktiver (VaX linkB) oder passiver (VaX) Betriebsmodus möglich.
Passiver Weitbereichssensor bestehend aus Heißkathode und Pirani. Mit auswechselbarem Filament.

Aktiver (VaX linkB) oder passiver (VaX) Betriebsmodus möglich.
Messbereich [mbar]: 5 • 10-10 bis 1000 5 • 10-10 bis 1 • 10-2 1 • 10-11 bis 1000 1 • 10-11 bis 1000
Ausheiztemperatur [°C]: 150
(am Kammerflansch)
150
(am Kammerflansch)
200 (in Verwendung mit VaX + Kabel)
150 am Kammerflansch
(in Verwendung mit VaX linkB)
200 (in Verwendung mit VaX + Kabel)
150 am Kammerflansch
(in Verwendung mit VaX linkB)
Betriebstemperatur [°C]: 10 bis 50 10 bis 50 10 bis 50 (mit Elektronik (VaX linkB))
200 (ohne Elektronik)
 10 bis 50 (mit Elektronik (VaX linkB))
200 (ohne Elektronik)
Vakuumanschluss: KF16 / KF 25 / CF40 KF16 / KF 25 / CF40 KF16 / KF 25 / CF40 CF40
Filamente: 2x Iridium, Yttriumoxid beschichtet
(nicht auswechselbar)
2x Iridium, Yttriumoxid beschichtet
(nicht auswechselbar)
2x Iridium, Yttriumoxid beschichtet
(nicht auswechselbar)
2x Iridium, Yttriumoxid beschichtet
(auswechselbar)
Schnittstellen: Daten I/O: D-Sub, 9-polig (female) mit RS232, Analog (0…10 V, 0…20 mA, 4…20 mA) Daten I/O: D-Sub, 9-polig (female) mit RS232, Analog (0…10 V, 0…20 mA, 4…20 mA) - -
Schaltpunkte: 2 2 -  -
Datenblatt: Download Datenblatt Download Datenblatt Download Datenblatt  Download Datenblatt 

Kabel: CABLE-VAX-VAXlinkB-X  (X = Kabellänge) CABLE-VAX-BARIONBPS-X
CABLE-VAX-VAXlinkB-X  (X = Kabellänge)

Kompatible Steuerelektroniken
(für diese Sensoren
verwendbar):
VMG VAX Vacuum Explorer VaX linkB
  VMG VaX Vacuum Explorer VaX linkB
Anzahl/Typ Sensoren: BARION atm II, BARION HV BARION smart, BARION smartF
BARION atm II, BARION HV
BARION smart, BARION smartF
Schnittstellen: RS232 Hauptgerät:
Rückseite: 1x RJ45 (RS485 und RS232),
1x Stromversorgung
Frontseite: 1x USB-Datenanschluss (USB-b),
1x USB-Ladebuchse (USB-a),
Heißkathodenmodul (rückseitig): 1x D-Sub-Mixed für passive Barion® -Sensoren, 11-polig
Aktivsensormodul (rückseitig): 3x RJ45 für aktive Sensoren
Daten I/O: D-Sub, 9-polig mit RS232, Analog (0…10 V, 0…20 mA, 4…20 mA)
Sensorsteuerung: Spezialsteckverbinder für Barion® -Sensoren, 11-polig
Schaltpunkte: 2 - 2
Datenblatt:   Download Datenblatt Download Datenblatt Download Datenblatt


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