Produktübersicht

Die Sensoren der Firma VACOM bestimmen den Druck zwischen Atmosphäre und Ultrahochvakuum. Für Messungen in Bereichen von Atmosphärendruck bis Feinvakuum kommen Wärmeverlustvakuummeter (Pirani) zum Einsatz. Bei Drücken im Fein- bis Ultrahochvakuum kommt es zum Einsatz von Heißkathoden (Bayard-Alpert). Zwischen den beiden Messprinzipien wird automatisch umgeschaltet. So kann mit nur einem Messgerät der Druck  über 13 Dekaden bestimmt werden. Mit integrierter Elektronik beim BARION^® atm II und BARION^® HV, RS232-, RS485-Schnittstellen sowie einem Analogausgang wird die notwendige Kompatibilität gewährleistet.  Auch die passiven Sensoren BARION^® smart und BARION^® smartF sind einfach und schnell  mit einer Elektronik (VaX linkB) zum aktiven Sensor umgewandelt.

Haben Sie Interesse, Anregungen, Fragen oder besondere Wünsche? Dann freuen wir uns über Ihren Anruf! >> Ihr Kundenbetreuer	BARION® atm II	BARION® smart	BARION® smartF
	Störungsfreie Prozesskontrolle, kompakte und robuste Bauweise und dazu große Schnittstellenvielfalt. Um Verschmutzungen in Prozessen (z.B. Sputtern) vorzubeugen, empfehlen wir den Einsatz eines Baffles.	Innovativer in-situ ausheizbares Weitbereichssensor bestehend aus Heißkathode und Pirani. Aktiver (VaX linkB) oder passiver (VaX) Betriebsmodus möglich.	1 2 3Passiver Weitbereichssensor bestehend aus Heißkathode und Pirani. Mit auswechselbarem Filament. Aktiver (VaX linkB) oder passiver (VaX) Betriebsmodus möglich.
Messbereich [mbar]:	5 · 10-10 bis 1000	5 · 10-10 bis 1000 (in Verwendung mit VaX linkB), 1 · 10-11 bis 1000 (in Verwendung mit VaX)	5 · 10-10 bis 1000 (in Verwendung mit VaX linkB), 1 · 10-11 bis 1000 (in Verwendung mit VaX)
Ausheiztemperatur [°C]:	150 (am Kammerflansch)	200 (in Verwendung mit VaX + Kabel) 150 am Kammerflansch (in Verwendung mit VaX linkB)	200 (in Verwendung mit VaX + Kabel) 150 am Kammerflansch (in Verwendung mit VaX linkB)
Betriebstemperatur [°C]:	10 bis 50	10 bis 50 (mit Elektronik VaX linkB) 200 (ohne Elektronik)	10 bis 50 (mit Elektronik VaX linkB) 200 (ohne Elektronik)
Vakuumanschluss:	KF16 / KF 25 / CF40	KF16 / KF 25 / CF40	CF40
Filamente:	2x Iridium, Yttriumoxid beschichtet (nicht auswechselbar)	2x Iridium, Yttriumoxid beschichtet (nicht auswechselbar)	2x Iridium, Yttriumoxid beschichtet (auswechselbar)
Schnittstellen:	Daten I/O: D-Sub, 9-polig (female) mit RS232, Analog (0…10 V, 0…20 mA, 4…20 mA)	-	-
Schaltpunkte:	2	-	-
Kabel: (X = Kabellänge)	CABLE-VAX-LAH-X CABLE-VMG-LAH-X	CABLE-VAX-LAH-X (in Kombination mit VaX linkB) CABLE-VMG-LAH-X (in Kombination mit VaX linkB)
Datenblatt:	Datenblatt	Datenblatt	Datenblatt

Kompatible Steuerelektroniken (für diese Sensoren verwendbar):
	VMG	VaX Vacuum Explorer	VaX linkB
Anzahl/Typ Sensoren/Elektronik:	BARION atm II, VAX linkB	BARION smart, BARION smartF BARION atm II, VaX linkB	*BARION smart, BARION smartF
Schnittstellen:	RS232	Hauptgerät: Rückseite: 1x RJ45 (RS485 und RS232), 1x Stromversorgung Frontseite: 1x USB-Datenanschluss (USB-b), 1x USB-Ladebuchse (USB-a), Heißkathodenmodul (rückseitig): 1x D-Sub-Mixed für passive Barion® -Sensoren, 11-polig Aktivsensormodul (rückseitig): 3x RJ45 für aktive Sensoren	Daten I/O: D-Sub, 9-polig mit RS232, Analog (0…10 V, 0…20 mA, 4…20 mA) Sensorsteuerung: Spezialsteckverbinder für Barion® -Sensoren, 11-polig
Schaltpunkte:	2	-	2
Datenblatt:	Datenblatt	Datenblatt	Datenblatt