Adsorptionsfallen

Um eine Rückströmung von Öl oder Wasserdampf aus dem Vorvakuumsystem in die Kammer zu verhindern kann eine KF-Adsorptionsfalle verwendet werden. Das Zeolith, das in den meisten Fällen als Adsorptionsmittel zum Einsatz kommt, lässt sich mit der eingebauten Heizung regenerieren.

LN2-KühlfallenLN2-Kühlfallen

LN2 Kühlfallen werden aus Edelstahl gefertigt. Sie kommen vorwiegend in Hochvakuum- und Ultrahochvakuum- Anlagen zum Einsatz. An den Wänden der Falle kondensieren Wasser, Lösungsmittel, Treibmittel und Gase, deren Siedetemperaturen über 77 K liegen (z. B. CO2). Sie lassen sich daher auch als Kryopumpen einsetzen.

Die Fallen sind mit KF- oder ISO- Flanschen für die Montage und zum Ablassen des Kondensates ausgestattet.

Je nach Anwendungsfall können wir Ihnen Fallen mit zwei oder drei Abgängen in zwei verschiedenen Ausführungen anbieten.

KF-AdsorptionsfalleKF-Adsorptionsfallen

KF-Adsorptionsfallen kommen üblicherweise zwischen mechanischen Vorpumpen und dem Rezipienten zum Einsatz. Sie verhindern eine Rückströmung von Dämpfen und Pumpenölen in die Kammer. Die Fallen werden in der Regel mit Zeolith befüllt, welches Partikel an seiner großen Oberfläche bindet.

Mit Hilfe der eingebauten Heizung lässt sich das Zeolith bei 300 °C viele Male regenerieren.

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