Mehrstufige Vakuumfallen

MULTI-TRAP1Die mehrstufige Hochleistungsvakuumfalle MULTI-TRAP schützt ölgedichtete und trocken laufende Pumpen, die in reaktiven Prozessen (z. B. TEOS, NITRIDE, HTO, PLASMA) eingesetzt werden. Sie filtert korrosive Dämpfe und durch Arbeitsprozesse entstehende Partikel, die die Vakuumpumpe verschmutzen können, und verlängert damit die Wartungsintervalle bzw. verkürzt Ausfallzeiten. Die dreistufige Anordnung bietet eine fast vollständige Filterung des Durchflusses.

Die erste Stufe filtert große, schwere Partikel und Schwebstoffe sowie Flüssigkeiten an der großen Gehäuseoberfläche.

Die zweite und dritte Stufe werden mit Filterelementen ausgerüstet, die reaktive Chemikalien und Feinpartikel filtern und durch eine große Auswahl an Filtermaterialien ein weites Anwendungsspektrum bieten.

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