Qualifizierte Restgasanalyse

Qualifizierte RestgasanalyseMit unseren Restgasanalyseanlagen kann das geforderte Reinigungsergebnis verifiziert und das Ausgasverhalten im Vakuum quantifiziert und dokumentiert werden.

Wir verfügen über einen eigenen RGA-Servicebereich. Wir bieten qualifizierte Ausgasmessungen mittels quantitativer und qualitativer Restgasanalyse an. Die Restgasanalyse dient zum einen zur standardisierten Qualitätskontrolle der gefertigten ausgasarmen Vakuumkomponenten (kleine Komponenten bis komplette Vakuumkammern), als auch zur Verifizierung der von Ihnen beigestellten Produkte. Die Messungen werden mit einem Partialdruck von bis zu 2 • 10-14 mbar und Massezahlen bis 300 amu durchgeführt. Die hochempfindlichen Messaufbauten erlauben den Nachweis kleinster Kontaminationen, um höchste Anforderungen an die Reinheit der Vakuumkomponenten und -kammern zu bedienen.

Die Restgasanalyse bieten wir Ihnen auch als Vor-Ort-Service an.