UHV-taugliche Reinigung und Ausheizen

Reinigung im Reinraum

Reinigung in der Waschanlage

Reinigung im Reinraum
Reinigung im Reinraum

Reinigung von Bauteilen

Wir verfügen über Know-how und technologische Ausstattung zur  wirtschaftlichen Reinigung  von  Bauteilen  mit  Alleinstellungsmerkmalen bezüglich Ausgasarmut, Material, Komplexität der Oberflächen und Partikelarmut. Unsere Prozesse sind optimiert, um Anforderungen, z. B. aus dem Bereich der optischen Industrie  oder der  Beschleunigertechnik  gerecht  zu  werden. Die Reinigung und die verwendeten Reiniger sind dabei für die verwendeten Werkstoffe und Geometrien optimiert.

Die komplette sechsstufige Reinigungskaskade findet im Reinraum der ISO-Klasse  7 statt, womit eine hohe Partikelarmut gewährleistet wird. Außerdem sind alle Bauteile, die in unseren Reinraumreinigungsprozess eingesteuert werden, vorgereinigt.

Bevor ein Reinigungsprozess erfolgreich gestartet wird, muss auch die „Geschichte“ der Baugruppe betrachtet werden. Bei sensiblen Werkstoffen und komplexen Geometrien ist es  von essentieller Bedeutung Kontaminationen schon im Entstehungsprozess zu vermeiden.

Alle Reinigungsstrecken sind mit Leitwert und pH-Wert-Kontrolle ausgestattet, wobei  die  Werte  prozessgemäß  dokumentiert werden. Die gesamte Medienführung ist frei von Zn, Sn, In, Pb und Si.

Ausheizen im Vakuumofen

Ausheizen im VakuumofenVakuumkomponenten können zur weiteren Verringerung der Ausgaswerte zusätzlich unter Vakuum (10-5 mbar) bis zu einer Temperatur von 300 °C ausgeheizt werden. Durch diesen Prozess werden die Ausgaswerte von Edelstahl auf 2 • 10-10 mbar l/s*cm-2 für Wasser, 2 • 10-12 mbar l/s*cm-2 für leichtflüchtige organische Verbindungen und auf 1,5 • 10-13 mbar l/s*cm-2 für schwerflüchtige organische Verbindungen reduziert.

Der Ausheizprozess  kann  mittels  Massenspektrometrie  in  situ überwacht und dokumentiert werden.

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