Spezialschaugläser und Zusatzkomponenten

Bei einer ITO-Beschichtung wird eine dünne Schicht Indium-Zinn-Oxid (engl. Indium-Tin-Oxide, ITO) auf Borosilikatglas oder Saphir aufgetragen. Durch die elektrische Leitfähigkeit dieses trotzdem transparenten Materials wird, bei Erhaltung einer klaren Durchsicht, eine elektrische Aufladung der Schauglasoberfläche verhindert und somit das Anhaften geladener Teilchen (z. B. Keramikpulver) vermieden.

Mittels Aufbringen von Leuchtstoffschichten (auch als Phosphorschichten bekannt) auf die vakuumseitige Schauglasfläche können Beugungsmuster von Elektronen innerhalb der Kammer sichtbar gemacht werden. So beschichtete Schaugläser werden z. B. bei der RHEED-Analyse (Reflection High Energy Electron Diffraction), einer Oberflächenanalyse mittels Elektronenbeugung, als Leuchtschirme (sog. RHEED-Schirme) eingesetzt.

Bei einigen vakuumtechnischen Anwendungen (z. B. RHEED) verwendet oder erzeugt man im Kammerinneren hochenergetische Röntgenstrahlung. Damit diese nicht durch das Schauglas nach außen treten kann, montiert man strahlabschirmende Bleigläser in sogenannten Bleiglaskappen an das Schauglas selbst.

Durch den Einsatz einer manuell bedienbaren Schauglasblende (engl. Shutter) kann man das Schauglas z. B. während eines Bedampfungsprozesses vakuumseitig vor Materialablagerungen abschirmen und somit ein klare Sicht beibehalten.

Verschiedene Glas-Metall-Konstruktionen ermöglichen es, die Position der optischen Bauteile nicht nur auf die Flanschverbindungsstelle z. B. an der Kammerwand zu beschränken. Mittels Rohransätzen (aus Metall oder Glas), Wellbälgen oder anderen Verbindungselementen hat man die Möglichkeit, die optische Koppelstelle ganz nah an die Probe im Kammerinneren heranzuführen (z. B. zur leichteren Fokussierung von Strahlen auf der Probenoberfläche) oder zwei Kammern mit einem transparenten Glasrohr zu verbinden.

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