Скорость откачки

Скорость откачки насосов - это параметр, определяющий конечное давление и время его достижения. Скорость, с которой откачивается определённый вид газа, зависит от его химических и физических свойств:  химического сродства с геттерными материалами, энегрии ионизации, массы и размера молекул.

Говоря о геттерно-ионных насосах, следует иметь в виду реактивные газы, а именно их сродство с геттерными материалами, и благородные газы, имеющие свойства инертных газов из-за их высокой энергии активации. Реактивные газы вступают в химическую реакцию с материалом катода насоса, образуя прочные соединения. Ионизированная молекула кислорода может, например, выбивать электрон из атома титана на катоде и вступать с ним в реакцию. Образовавшаяся молекула оксида титана ведёт себя нейтрально, и рекомбинация газа в системе не происходит по причине энергии ионизации. Инертные и нереакционноспособные благородные газы в условиях UHV не вступают в химическую связь. Благородные газы могут связываться на поверхностях только путём физической адсорбции или имплантации на стенках насоса.
Скорость откачки геттерно-ионных насосов зависит не только от вида газа, но также от конструкции откачивающего элемента.