Стабильность

Неизменяемость или стабильность давления - это способность насоса сохранять постоянное давление при постоянном давлении газа. Различные материалы катода имеют различные уровень стабильности и скорость откачки. Титановые катоды не изменяются при откачке реактивных газов. К сожалению, при откачке благородных газов (свойственно аргону) титановыми катодами возникает неустойчивость. Благородные газы не вступают в реакцию с титаном и при столкновении имплантируются в титановый катод. Это происходит в центрах отдельных клеток. Возможно, эти газы освобождаются при дальнейшей бомбандировке ионов и распылении катодов. Альтернативно можно использовать катоды из тантала. Они поддерживают стабильный процесс откачки, хотя и не удерживают благородные газы. Ионы, втсречающие танталовые катоды, могут обратно рефлектироваться в IGPs как нейтральные атомы. Эти атомы обладают обычно достаточной кинетической энергией, чтобы имплантироваться при попадании на другие области насосного элемента (например, внутри расположения анодов). Там, как правило, не происходит распыление или распыление настолько минимально, что уже имплантированные атомы не освобождаются и остаются в твёрдом теле.