Принцип функционирования диодных магниторазрядных насосов

Funktionsweise von Dioden-IonengetterpumpenГеттерно-ионный насос диодного типа состоит из одного или нескольких откачивающих элементов, внешнего постоянного магнита и корпуса. Откачивающие элементы выполняют основную функцию насоса и состоят из двух катодных пластин и анода. Анод сконструирован из множества коротких, спаянных друг с другом, цилиндрических металлических трубочек и напоминает конструкцию пчелинных сот. Каждая трубочка образует центр ячейки Пеннинга. Чем больше ячеек содержит анод, тем выше скорость откачки насоса такой конструкции. Анод расположен между катодными пластинами. Малое расстояние между анодом и пластинами катода достаточно для впуска газа. Анод и катоды крепко соединены друг с другом и заземлены с помощью керамических изоляторов. Они и образуют  откачивающий элемент. В корпус насоса встроен один или несколько откачивающих элементов. Корпус насоса - это небольшая вакуумная камера с выемками для откачивающих элементов. Постоянные магниты закрепляются в выемках снаружи камеры и дополняют конструкцию.

В основе действия геттерно-ионного насоса заложены три основные процесса:

1. Образование электронного облака
2. Ионизация газовых молекул
3. Ионная бомбандировка

 

 

 

 

Вы здесь: Home Продукты Геттерно-ионные и титаново-сублимационные насосы Принцип функционирования диодных магниторазрядных насосов