Титаново-сублимационные насосы

Титаново-сублимационные насосы часто используются в комбинации с ионно-геттерными насосами, так как они имеют особенно высокую скорость откачки некоторых видов газа. В таких насосах титановые филаменты нагреваются электрическим током до тех пор, пока титан не начинает сублимировать с поверхности филамента в вакуум. Сублимированный титан оседает на окружающей поверхности, образуя тонкий слой. Этот слой имеет высокую скорость откачки реактивных газов, которые образуют химическую связь с титановым слоем или адсорбируются. Чем толще слой этих газов, тем ниже скорость откачки насоса. Охлаждение водой или жидким азотом увеличивает эффективность процесса газопоглощения и скорость откачки. TSP подходят особенно для  H2O, CO, CO2 и O2. При охлаждении азотом дополнительно откачиваются H2 и N2.