Многоступенчатые вакуумные ловушки

MULTI-TRAP1Многоступенчатая высокомощая вакуумная ловушка MULTI-TRAP защищает масляные и безмасляные (сухие) насосы от реактивных процессов (например, TEOS, NITRIDE, HTO, PLASMA). Она фильтрует коррозийные пары и возникающие в ходе процесса частицы, которые могут загрязнить ловушку. Тем самым продлевается срок службы и уменьшается вероятность выхода из строя. Трехступенчатая конструкция обеспечивает почти полную фильтрацию.

Первая степень фильтрует крупные тяжёлые частицы и взвеси, а также жидкости на поверхности корпуса.

Фильтрующие элементы второй и третей спенени фильтруют  реактивные химикалии и благодаря большому выбору фильтрующих элементов могут использоваться в самых различных применениях.