Отжиг в вакуумных печах

Отжиг в вакуумных печахС целью снижения показателя остаточного газовыделения, вакуумные компоненты могут быть подвергнуты отжигу в условиях вакуума. Уровни десорбции и диффузии всех материалов зависят в значительной степени от температуры. Поэтому поверхности материалов при высоких температурах (например, 300°C) освобождаются от абсорбированных частиц и процесс диффузии находящихся в материале молекул ускоряется.  Благодаря этому процесс отжига улучшает показатели остаточного газовыделения компонентов при последующем их применении в условиях  более низких давлений.
Подвергнутая отжигу нержавеющая сталь достигает следующих показателей остаточного газовыделения:

2 • 10-10 mbar l/s*cm-2 для воды
2 • 10-12 mbar l/s*cm-2 для легколетучих органических соединений
1,5 • 10-13 mbar l/s*cm-2 для малолетучих органических соединений

Параметры процесса при отжиге компонентов в вакуумных печах:

  • Вакуум до 10-5 mbar
  • Температура до 300 °C
  • Максимальные размеры компонентов до 420 x 480 x 500 mm

С помощью масс-спектрометрии, одновременно с процессом отжига, могут быть рассчитаны молекулярные составляющие  газового спектра.