Качественное и количественное измерение остаточного газовыделения компонентов и вакуумных блоков

Оценка уровня остаточного газа для материалов, компонентов и вакуумных блоков крайне необходима для многих современных технологических процессов. Речь идёт, с одной стороны, о  классификации материалов относительно их пригодности для применения в  вакууме, зависящей  как от используемого  давления, так и от преобладающих температур.

С другой стороны, измерение уровня остаточного газа является методом контроля качества  очистки материалов и компонентов. Наши измерительные методы настолько чувствительны, что мы можем обнаружить загрязнение, нанесенное монтажной перчаткой на собранном вакуумном блоке, имевшей на поверхности незначительные следы кожи пальцев.

Наша компания предлагает Вам качественный и количественный анализ уровня  остаточного газа  (RGA). Измерение уровня  остаточного газа [mbar l/s] включает диапазон массвого числа до 200 m/z (масса/груз). Наше высокочувствительное оборудование позволяет обнаружить незначительные загрязнения, например, легко- и малолетучих органических соединений (45...100 m/z и 101...200 m/z), для удовлетворения самых высоких требований наших клиентов к чистоте вакуумных компонентов и камер. Нижний предел парциального давления в наших масс-спектрометров составляет   5 • 10-14 mbar.

Путём повторных измерений мы можем установить, является ли уровень выделений остаточного газа материала обратимым, или установить, что свойства материала существенным образом изменены процессом газовыделения. Для каждого проведенного измерения может быть предоставлен протокол, который содержит данные об изменениях значений остаточного газовыделения Ваших вакуумных блоков, с течением времени. Мы охотно выполним для Вас анализ результатов измерений и обсудим их вместе с Вами.

С помощью наших измерительных установок могут быть обнаружены массспецифические показатели содержания газа до 1 • 10-14 mbar l/s/cm2. Пропорциональное сотношение поверхностей  испытуемого компонента и измерительной аппаратуры значительным образом влияет на  возможность проведения анализа состава остаточного газа. Калибровка масс-спектрометра играет наряду с правильным выбором вида и размера вакуумного насоса важную роль при настройке проводимости.

Мы располагаем значительным опытом, позволяющим предварительно установить , принесёт ли измерение пригодные для использования  результаты. Для этой цели нижний предел чувствительности  наших измерительных установок сверяется с ожидаемыми показателями остаточных газов на  Ваших пробах. В случае необходимости мы имеем возможность сконструировать  и изготовить измерительную камеру с соответствующим пределом чувствительности , пригодную специально для процесса проверки.

С целью обеспечения на длительный период  времени высокого качества и точности измерений, все наши измерительные установки обслуживаются и регулярно калибрируются с соблюдением строгих критериев.

Вы здесь: Home Сервисные услуги Специфические вакуумные измерения Качественное и количественное измерение остаточного газовыделения компонентов и вакуумных блоков